检测装置和检测方法
【专利摘要】本发明公开了一种检测装置和检测方法，其中该检测装置包括：该检测装置包括：密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，密封腔体内水平放置有待检测的基板，气流检测单元位于密封腔体内且位于基板的下方，气流输出单元与密封腔体连接，气流输出单元用于向基板的上表面输出检测气流，气流检测单元用于检测基板的下表面是否存在检测气流。本发明的技术方案通过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果以实现对基板是否存在破损进行判断。
【专利说明】检测装置和检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示【技术领域】，特别涉及一种检测装置和检测方法。
【背景技术】
[0002]显示面板包括阵列基板以及与阵列基板相对设置的对盒基板，其中，阵列基板和对盒基板均是需要通过一系列的生产工艺才制备出来的。
[0003]制备阵列基板或对盒基板用的玻璃基板，在制备阵列基板或对盒基板过程中会在不同的工艺设备之间进行传输，在传输过程中玻璃基板会与传送设备发生频繁的接触和碰撞，从而很有可能使得玻璃基板产生破损，进而导致制备出的阵列基板或对盒基板无法使用。更严重的是，出现破损的玻璃基板在进行加工时，玻璃基板上残留的玻璃碎屑会使得工艺设备发生堵塞、划伤损坏，从而造成严重的经济损失。
[0004]因此，如何能够及时有效的检测出玻璃基板上是否存在损坏，对于显示面板制造行业尤为重要。
【发明内容】
[0005]本发明提供一种检测装置和检测方法，可以对基板是否存在破损进行有效的判断。
[0006]为实现上述目的，本发明提供了一种检测装置，用于对基板破损进行检测，包括:
[0007]密封腔体，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板；
[0008]气流输出单元，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流输出单元用于向所述基板的上表面输出检测气流；
[0009]气流检测单元，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述气流检测单元用于检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流；
[0010]若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流时，则判断出所述基板存在破损；若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流时，则判断出所述基板不存在破损。
[0011]可选地，还包括:运载单元，所述运载单元位于所述气流检测单元和所述基板之间；
[0012]所述运载单元用于支撑所述基板以及带动所述基板在所述密封腔体内移动。
[0013]可选地，所述运载单元包括:平行设置的若干条滚轴，所述滚轴设置在所述基板的下方，所述滚轴包括:若干个传送滚轮和连接杆，所述连接杆与所述滚轴中的全部所述传送滚轮连接；
[0014]所述连接杆用于控制所述滚轴中的全部所述传送滚轮同步运动；
[0015]所述滚轮用于带动所述基板以预定速度进行运动。
[0016]可选地，所述运载单元还包括:导向轮，所述导向轮位于所述连接杆的两端；
[0017]所述导向轮用于在所述滚轮带动所述基板进行运动时控制所述基板的沿垂直于所述连接杆的方向进行水平运动。
[0018]可选地，所述气流输出单元包括:进气模块和若干条输气支路，所述进气模块设置在所述密封腔体上，所述输气支路设置在所述密封腔体内，所述输气支路包括:输送软管和喷嘴，所述输送软管的一端与所述进气模块连接，所述输送软管的另一端与所述喷嘴连接；
[0019]所述进气模块用于将检测气体通过所述输气支路输出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述检测气流。
[0020]可选地，所述进气模块包括:进气管路、过滤器和缓冲密闭箱，所述过滤器设置在所述进气管路和所述缓冲密闭箱之间，所述缓冲密闭箱与所述输送软管连接；
[0021]所述进气管路用于将所述检测气体运输至所述缓冲密闭箱内；
[0022]所述过滤器用于将对所述检测气体中杂质进行过滤；
[0023]所述缓冲密闭箱用于存储所述检测气体以及将所述检测气体输送至输送软管。
[0024]可选地，全部所述喷嘴处于同一水平面且排列成一行。
[0025]可选地，所述气流输出单元还包括:第一固定板，全部所述喷嘴固定在所述第一固定板上。
[0026]可选地，所述气流检测单元包括:若干个气流检测子单元，所述气流检测子单元用于检测所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域是否存在检测气流；
[0027]若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在破损；若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在破损。
[0028]可选地，全部所述气流检测子单元在处于同一水平面且排列成一行。
[0029]可选地，所述气流检测单元还包括:第二固定板，全部所述气流检测子单元固定在所述第二固定板上。
[0030]可选地，所述气流检测子单元为气流传感器，所述气流传感器用于在检测到检测气流时产生模拟信号；
[0031]所述检测装置还包括:信号转换器和报警器，所述信号转换器与气流传感器和所述报警器连接；
[0032]所述信号转换器用于将所述模拟信号转换成电信号；
[0033]所述报警器用于在接收所述电信号时进行报警。
[0034]可选地，还包括:基板检测单元，所述基板检测单元与所述气流输出单元连接；
[0035]所述基板检测单元用于检测所述气流输出单元的下方是否存在所述基板，若所述基板检测单元检测出所述气流输出单元的下方存在所述基板时，则控制所述气流输出单元输出所述检测气流，若所述基板检测单元检测出所述气流输出单元的下方不存在所述基板时，则控制所述气流输出单元停止输出所述检测气流。
[0036]可选地，还包括:保护壳体，所述保护壳体设置在所述密封腔体外；
[0037]所述保护壳体用于保护所述密封腔体。
[0038]可选地，所述检测气流为空气流。
[0039]为实现上述目的，本发明还提供一种检测方法，用于对基板破损进行检测，所述检测方法基于检测装置，所述检测装置包括:密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述检测方法包括:
[0040]所述气流输出单元向所述基板的上表面输出检测气流；
[0041]所述气流检测单元检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流，若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流，则判断出所述基板存在破损，若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流，则判断出所述基板不存在破损
[0042]本发明具有以下有益效果:
[0043]本发明提供一种检测装置和检测方法，该检测装置包括:该检测装置包括:密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，其中，密封腔体内水平放置有待检测的基板，气流检测单元位于密封腔体内且位于基板的下方，气流输出单元与密封腔体连接，气流输出单元用于向基板的上表面输出检测气流，气流检测单元用于检测基板的下表面是否存在检测气流。本发明的技术方案通过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果以实现对基板是否存在破损进行判断。
【专利附图】
【附图说明】
[0044]图1为本发明实施例一提供的检测装置的正视图；
[0045]图2为图1的侧视图；
[0046]图3为图1中密封腔室内的俯视图；
[0047]图4为本发明实施例二提供的检测方法的流程图。
【具体实施方式】
[0048]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的检测装置和检测方法进行详细描述。
[0049]实施例一
[0050]图1为本发明实施例一提供的检测装置的正视图，图2为图1的侧视图，图3为图1中密封腔室内的俯视图，如图1至图3所示，该检测装置用于对基板4破损进行检测，该检测装置包括:密封腔体1、气流输出单元和气流检测单元，其中，密封腔体1内水平放置有待检测的基板4，气流检测单元位于密封腔体1内且位于基板4的下方，气流输出单元与密封腔体1连接，气流输出单元用于向基板4的上表面输出检测气流，气流检测单元用于检测基板4的下表面是否存在检测气流。
[0051]本发明通过气流输出单元在基板4的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板4的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果可以对基板4是否存在破损进行判断。
[0052]本发明的发明原理在于，当过气流输出单元在基板4的上表面形成检测气流时，在基板4的上表面形成一个强气压区，而此时基板4的下表面为正常气压，若基板4出现破损，则检测气流将会通过破损处而在基板4的下表面形成检测气流，此时气流检测单元检测到基板4的下表面存在检测气流，因此可以判断出基板4存在破损；若基板4没有出现破损，则检测气流将不会通过基板4，此时基板4的下表面不会形成检测气流，气流检测单元检测到基板4的下表面不存在检测气流，因此可以判断出基板4不存在破损。
[0053]本实施例中，可选地，该检测装置还包括:运载单元，运载单元位于气流检测单元和基板4之间，运载单元用于支撑基板4以及带动基板4在密封腔体1内移动。具体地，运载单元包括:平行设置的若干条滚轴18，该滚轴18设置在基板4的下方，每条滚轴18均包括:若干个传送滚轮6和一个连接杆7，连接杆7与滚轴18中的全部传送滚轮6连接，连接杆7用于控制滚轴18中的全部传送滚轮6同步运动，滚轮6用于带动基板4以预定速度进行运动。本实施例中，当滚轮6进行转动时，基板4将在水平面上以垂直于连接杆7的方向进行水平移动。
[0054]进一步可选地，该运载单元还包括:导向轮13，导向轮13位于连接杆7的两端，导向轮13用于在滚轮6带动基板4进行运动时控制基板4的沿垂直于连接杆7的方向进行水平运动。在实际生产中，当滚轮6带动基板4运动时，基板4可能会产生侧移，因而使得基板4并不能沿垂直于连接杆7的方向进行水平运动，并最终使得基板4从滚轴18上掉下来。为解决上述问题，本发明在连接杆7的两端设置导向轮13，该导向轮13可限定基板4只能沿垂直于连接杆7的方向进行水平运动，从而避免基板4的侧移。
[0055]在本实施例中，气流输出单元包括:进气模块和若干条输气支路，进气模块设置在密封腔体1上，输气支路设置在密封腔体1内，输气支路包括:输送软管2和喷嘴3，输送软管2的一端与进气模块连接，输送软管2的另一端与喷嘴3连接，进气模块用于将检测气体18通过输气支路和喷嘴3输出至基板4的上表面以在基板4的上表面形成检测气流。进气模块包括:进气管路12、过滤器11和缓冲密闭箱10，过滤器11设置在进气管路12和缓冲密闭箱10之间，缓冲密闭箱10与输送软管2连接，进气管路12用于将检测气体18运输至缓冲密闭箱10内，过滤器11用于将对检测气体18中杂质进行过滤，缓冲密闭箱10用于存储检测气体18，以及将经过过滤处理后的检测气体18输送至输送软管2，并最终通过喷嘴3输送至基板4的上表面。
[0056]在本实施例中，进气模块不仅可对检测气体18进行存储，还可以对检测气体18中的杂质进行过滤，从而使得到达基板4的上表面的气体为洁净且干燥的气体，从而避免了检测气体18对基板4的污染。本实施例中，可选地，检测气体18为洁净且干净的空气，相应地，检测气流为空气流。
[0057]可选地，气流输出单元还包括:第一固定板8，全部喷嘴3固定在第一固定板8上。进一步可选地，全部喷嘴3处于同一水平面且排列成一行，具体地，全部喷嘴3沿与基板4运动方向垂直的方向排列成一行。需要说明的是，喷嘴3的上述排布方式仅为本实施例中的一种可选方案，对本申请的技术方案不会产生限制，例如:本实施例中还可以将全部喷嘴3排列在同一水平面且全部喷嘴3在基板4上的投影均匀分布(未给出相应附图)。
[0058]在本实施例中，气流检测单元包括:若干个气流检测子单元5，气流检测子单元5用于检测基板4上对应气流检测子单元5的正上方的区域是否存在检测气流，若气流检测子单元5检测到基板4上对应气流检测子单元5的正上方的区域存在检测气流时，则判断出基板4上对应气流检测子单元5的正上方的区域存在破损；若气流检测子单元5检测到基板4上对应气流检测子单元5的正上方的区域不存在检测气流时，则判断出基板4上对应气流检测子单元5的正上方的区域不存在破损。
[0059]可选地，气流检测单元还包括:第二固定板9，全部气流检测子单元5固定在第二固定板9上。进一步可选地，全部气流检测子单元5处于同一水平面且排列成一行，具体地，全部气流检测子单元5沿与基板4运动方向垂直的方向排列成一行。需要说明的是，气流检测子单兀5的上述排布方式仅为本实施例中的一种可选方案，对本申请的技术方案不会产生限制，例如:本实施例中还可以将全部气流检测子单元5排列在同一水平面且全部气流检测子单元5在基板4上的投影均匀分布(未给出相应附图)。
[0060]可选地，气流检测子单元5为气流传感器，气流传感器用于在检测到检测气流时产生模拟信号，检测装置还包括:信号转换器16和报警器17，信号转换器16与气流传感器和报警器17连接，信号转换器16用于将模拟信号转换成电信号，报警器17用于在接收电信号时进行报警。本实施例中，通过信号转换器16和报警器17的设置，可在气流检测子单元5检测到基板4破损时及时的通知操作人员，从而避免破损的基板4进入到下一加工工序中。
[0061]可选地，该检测装置还包括:基板检测单元14，基板检测单元14位于密封腔体1内且与气流输出单元连接，基板检测单元14用于检测气流输出单元的下方是否存在基板4，若基板检测单元14检测出气流输出单元的下方存在基板4时，则控制气流输出单元输出检测气流，若基板检测单元14检测出气流输出单元的下方不存在基板4时，则控制气流输出单元停止输出检测气流。本实施例中通过基板检测单元14的设置，可以使得该检测装置更加的智能化。更为重要的是，该基板检测单元14可有效避免当气流输出单元的下方不存在基板4时，气流输出单元输出的检测气体18被气流检测单元检测到，从而造成错误检测的现象。需要说明的是，本实施例中基板检测单元14可固定在第一固定板8上。
[0062]可选地，该检测装置还包括:保护壳体15，保护壳体15设置在密封腔体1外。本实施例提供的检测装置对密封腔体1的密封性要求较高，通过在密封腔体1外设置保护壳体15可有效的实现对密封腔体1的保护。
[0063]下面将结合附图对本实施例提供的检测装置的工作过程进行详细的描述。
[0064]首先，运载单元带动基板4运动到气流输出单元的下方，此时基板检测单元14检测到基板4的存在，并控制气流输出单元通过喷嘴3向基板4的上表面输出检测气流。然后，气流检测单元开始检测基板4的下表面是否存在检测气流，若气流检测单元中任意一个气流检测子单元5检测到检测气流，则可以判断出基板4上位于检测到检测气流的气流检测子单元5的正上方的区域存在破损。本实施例中，全部的喷嘴3处于同于水平面且排列成一行，全部气流检测子单元5处于同一水平面且排列成一行，且一行喷嘴3与一行气流检测子单元5平行且相对设置，运载单元带动基板4运动的过程中，检测气流可扫过基板4上表面的各个区域。最后，当运载单元带动基板4运动直至基板检测单元14检测不到基板4的存在时，基板检测单元14控制气流输出单元停止输出检测气流，从而完成对一张基板4的检测。
[0065]本发明实施例一提供了一种检测装置，该检测装置包括:该检测装置包括:密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，其中，密封腔体内水平放置有待检测的基板，气流检测单元位于密封腔体内且位于基板的下方，气流输出单元与密封腔体连接，气流输出单元用于向基板的上表面输出检测气流，气流检测单元用于检测基板的下表面是否存在检测气流。本发明的技术方案通过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果以实现对基板是否存在破损进行判断。
[0066]实施例二
[0067]图4为本发明实施例二提供的检测方法的流程图，如图4所示，该检测方法基于检测装置，其中该检测装置包括:密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，密封腔体内水平放置有待检测的基板，气流输出单元与密封腔体连接，气流检测单元位于基板的下方，该检测方法包括:
[0068]步骤101:气流输出单元向基板的上表面输出检测气流。
[0069]步骤102:气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流。
[0070]在步骤102中，若气流检测单元检测到基板的下表面存在检测气流，则判断出基板存在破损，若气流检测单元检测到基板的下表面不存在检测气流，则判断出所述基板不存在破损。
[0071]本发明的发明原理在于，当过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流时，在基板的上表面形成一个强气压区，而此时基板的下表面为正常气压，若基板出现破损，则检测气流将会通过破损处而在基板的下表面形成检测气流，此时气流检测单元检测到基板的下表面存在检测气流，因此可以判断出基板存在破损；若基板没有出现破损，则检测气流将不会通过基板，此时基板的下表面不会形成检测气流，气流检测单元检测到基板的下表面不存在检测气流，因此可以判断出基板不存在破损。
[0072]因此，基于上述步骤101和步骤102可实现对基板上是否存在破损进行判断。
[0073]本发明实施例二提供了一种检测方法，该检测方法包括:气流输出单元向基板的上表面输出检测气流；气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，若气流检测单元检测到基板的下表面存在检测气流，则判断出基板存在破损，若气流检测单元检测到基板的下表面不存在检测气流，则判断出所述基板不存在破损。本发明的技术方案通过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果以实现对基板是否存在破损进行判断。
[0074]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种检测装置，其特征在于，用于对基板破损进行检测，包括: 密封腔体，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板； 气流输出单元，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流输出单元用于向所述基板的上表面输出检测气流； 气流检测单元，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述气流检测单元用于检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流； 若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流时，则判断出所述基板存在破损；若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流时，则判断出所述基板不存在破损。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括:运载单元，所述运载单元位于所述气流检测单元和所述基板之间； 所述运载单元用于支撑所述基板以及带动所述基板在所述密封腔体内移动。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述运载单元包括:平行设置的若干条滚轴，所述滚轴设置在所述基板的下方，所述滚轴包括:若干个传送滚轮和连接杆，所述连接杆与所述滚轴中的全部所述传送滚轮连接； 所述连接杆用于控制所述滚轴中的全部所述传送滚轮同步运动； 所述滚轮用于带动所述基板以预定速度进行运动。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述运载单元还包括:导向轮，所述导向轮位于所述连接杆的两端； 所述导向轮用于在所述滚轮带动所述基板进行运动时控制所述基板的沿垂直于所述连接杆的方向进行水平运动。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气流输出单元包括:进气模块和若干条输气支路，所述进气模块设置在所述密封腔体上，所述输气支路设置在所述密封腔体内，所述输气支路包括:输送软管和喷嘴，所述输送软管的一端与所述进气模块连接，所述输送软管的另一端与所述喷嘴连接； 所述进气模块用于将检测气体通过所述输气支路输出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述检测气流。
6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述进气模块包括:进气管路、过滤器和缓冲密闭箱，所述过滤器设置在所述进气管路和所述缓冲密闭箱之间，所述缓冲密闭箱与所述输送软管连接； 所述进气管路用于将所述检测气体运输至所述缓冲密闭箱内； 所述过滤器用于将对所述检测气体中杂质进行过滤； 所述缓冲密闭箱用于存储所述检测气体以及将所述检测气体输送至输送软管。
7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，全部所述喷嘴处于同一水平面且排列成一行。
8.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述气流输出单元还包括:第一固定板，全部所述喷嘴固定在所述第一固定板上。
9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测单元包括:若干个气流检测子单元，所述气流检测子单元用于检测所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域是否存在检测气流； 若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在破损；若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在破损。
10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，全部所述气流检测子单元处于同一水平面且排列成一行。
11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测单元还包括:第二固定板，全部所述气流检测子单元固定在所述第二固定板上。
12.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测子单元为气流传感器，所述气流传感器用于在检测到检测气流时产生模拟信号； 所述检测装置还包括:信号转换器和报警器，所述信号转换器与气流传感器和所述报警器连接； 所述信号转换器用于将所述模拟信号转换成电信号； 所述报警器用于在接收所述电信号时进行报警。
13.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括:基板检测单元，所述基板检测单元与所述气流输出单元连接； 所述基板检测单元用于检测所述气流输出单元的下方是否存在所述基板，若所述基板检测单元检测出所述气流输出单元的下方存在所述基板时，则控制所述气流输出单元输出所述检测气流，若所述基板检测单元检测出所述气流输出单元的下方不存在所述基板时，则控制所述气流输出单元停止输出所述检测气流。
14.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括:保护壳体，所述保护壳体设置在所述密封腔体外； 所述保护壳体用于保护所述密封腔体。
15.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测气流为空气流。
16.一种检测方法，其特征在于，用于对基板破损进行检测，所述检测方法基于检测装置，所述检测装置包括:密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述检测方法包括: 所述气流输出单元向所述基板的上表面输出检测气流； 所述气流检测单元检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流，若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流，则判断出所述基板存在破损，若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流，则判断出所述基板不存在破损。
【文档编号】H01L21/66GK104297423SQ201410490339
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年9月23日 优先权日:2014年9月23日
【发明者】安午伟, 马亮 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司