1.一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置，其特征在于：包括中空轴电机(1)、晶圆承片台(2)、垫柱(3)、夹紧块(5)及单作用弹簧复位气缸(6)，其中晶圆承片台(2)与所述中空轴电机(1)的输出端密封连接，在该晶圆承片台(2)上表面沿圆周方向均布有多个支撑晶圆(4)边缘的垫柱(3)，所述晶圆承片台(2)下表面沿圆周方向均布有多个单作用弹簧复位气缸(6)，每个所述单作用弹簧复位气缸(6)的输出端均连接有夹持所述晶圆(4)边缘的夹紧块(5)；所述晶圆承片台(2)上开有为单作用弹簧复位气缸(6)提供工作介质的流通口，各所述夹紧块(5)通过单作用弹簧复位气缸(6)的伸缩沿所述晶圆(4)的径向往复移动，实现对所述晶圆(4)边缘的夹持或松放；
所述晶圆承片台(2)上开设的流通口包括垂直压缩空气流通口(7)及水平压缩空气流通口(8)，该垂直压缩空气流通口(7)通过所述中空轴电机(1)上的通孔(10)与压缩空气气源相连通，所述水平压缩空气流通口(8)为多个，沿圆周方向均布，每个所述水平压缩空气流通口(8)的一端分别与所述垂直压缩空气流通口(7)相连通，另一端分别连通于所述单作用弹簧复位气缸(6)上开设的工作介质接入口(9)。
2.按权利要求1所述自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置，其特征在于：所述晶圆承片台(2)的上部为圆盘状、下部为中空圆柱状，所述中空轴电机(1)的输出端与晶圆承片台(2)中空圆柱状的下部密封连接，所述垂直压缩空气流通口(7)开设在该中空圆柱状的顶部，所述水平压缩空气流通口(8)沿晶圆承片台(2)圆盘状的上部的圆周方向均布。
3.按权利要求1或2所述自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置，其特征在于：所述水平压缩空气流通口(8)、单作用弹簧复位气缸(6)及夹紧块(5)的数量相同。
4.按权利要求1或2所述自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置，其特征在于：所述晶圆承片台(2)的边缘沿圆周方向均布有多个条形孔(11)，每个所述条形孔(11)内均容置有夹紧块(5)，各所述夹紧块(5)在单作用弹簧复位气缸(6)的带动下，在所述条形孔(11)内往复移动。
5.一种按权利要求1所述自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置的夹持方法，其特征在于：通过所述中空轴电机(1)带动晶圆承片台(2)及晶圆(4)旋转，通过所述晶圆承片台(2)上开设的流通口为各所述单作用弹簧复位气缸(6)提供工作介质，通过所述单作用弹簧复位气缸(6)的伸缩交替，实现各所述夹紧块(5)对晶圆(4)边缘的夹紧或松放。
6.按权利要求5所述的夹持方法，其特征在于：初始状态时，接通工作介质，工作介质通过所述中空轴电机(1)和晶圆承片台(2)使单作用弹簧复位气缸(6)的活塞杆处于伸出状态，所述晶圆(4)处于自由状态；当清洗工艺开始时，释放工作介质，所述单作用弹簧复位气缸(6)依靠自身弹簧的作用处于收缩状态，同时，所述晶圆(4)的边缘被夹紧块(5)夹紧。