一种硅片放置装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种硅片放置装置，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体，所述盒体至少包括：底板、侧壁和前壁；所述侧壁与所述底板两侧相连接，两侧侧壁内设置有多个一一对应的用于放置硅片的容置槽；所述侧壁外设有把手；所述前壁与所述底板的前沿对齐且连接于侧壁间；所述前壁的高度小于侧壁的高度；所述前壁的高度是侧壁高度的1/2～2/3。本实用新型提供的硅片放置装置，其前壁的高度小于侧壁的高度，使机械手不会碰撞到放置装置和硅片，确保机械手的安全距离；其次，在放置装置的底部加装了底板，提高放置装置的平衡性和稳定性；再者，在放置装置的侧壁上加装了把手，方便技术人员的操作和运输。
【专利说明】—种硅片放置装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造【技术领域】，特别是涉及一种硅片放置装置。
【背景技术】
[0002]十多年来，我国集成电路技术突飞猛进，集成度越来越高，处理速度越来越快，芯片制造生产的技术水平也从8英寸、0.25微米提高到12英寸、45纳米的新水平，并在向12英寸、32纳米和22纳米以下的技术阶段迈进。具有各种不同功能的集成电路芯片已广泛应用于人们生活的各个领域。
[0003]集成电路的制作过程需要经过多种工艺，例如，清洗、氧化、化学气相沉积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化等，这些工艺需要在工厂的不同区域进行。而在半导体集成电路制作的过程中，由于所有电路均集成于硅片上，所以硅片需要在不同制程之间和同一制程的不同区域流转，其输运和保管过程中都需要用到硅片放置装置(cassette)。
[0004]如图1所示为传统的硅片放置装置，该放置装置包括顶部开口的盒体100A，所述盒体100A包括:内部设置有多个容置槽的侧壁2A，该些容置槽将硅片分割开来并起着支撑作用，使晶圆底部悬空并有序地放置于硅片放置装置中；还包括与侧壁2A等高的前壁3A。这种硅片放置装置既可以方便硅片转送，又可以用于硅片制程中机械手抓取硅片。但是，当机械手抓取硅片时，机械手很容易和前壁的上部发生碰撞，造成机械手臂变形或损坏?’另外，机械手在抓取第一片硅片时，又很容易碰撞在硅片本身；再者，这种硅片放置装置只能用机械传送，无法手动 传送，当需要手动传送时，极易发生装置掉落，增加产片损坏的风险。
[0005]因此，提供一种新型的硅片放置装置实属必要。
实用新型内容
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种硅片放置装置，用于解决现有技术中机械手抓取硅片时容易与放置装置及硅片发生碰撞、且手动传送不安全等问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种硅片放置装置，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体，所述盒体至少包括:底板、侧壁和前壁；
[0008]所述侧壁与所述底板两侧相连接，两侧侧壁内设置有多个对应的用于放置娃片的容置槽；所述侧壁外设有把手；
[0009]所述前壁与所述底板的前沿对齐且连接于侧壁间；所述前壁的高度小于侧壁的高度。
[0010]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述硅片放置装置还包括连接于所述侧壁之间的后壁，所述后壁与所述底板的后沿对齐。
[0011]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述前壁的高度是侧壁高度的1/2 ~2/3。
[0012]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述侧壁的下端为呈一定角度的弧形。
[0013]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述容置槽的形状与侧壁一致，下端呈弧形。
[0014]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述把手设置于侧壁外的中上端。
[0015]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述侧壁之间的距离由待放置的硅片直径来确定。
[0016]作为本实用新型硅片放置装置的一种优化的结构，所述底板、侧壁和前壁的材质均为塑料。
[0017]如上所述，本实用新型的硅片放置装置，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体，所述盒体至少包括:底板、侧壁和前壁；所述侧壁与所述底板两侧相连接，两侧侧壁内设置有多个一一对 应的用于放置硅片的容置槽；所述侧壁外设有把手；所述前壁与所述底板的前沿对齐且连接于侧壁间；所述前壁的高度小于侧壁的高度；所述前壁的高度是侧壁高度的1/2~2/3。本实用新型的硅片放置装置具有以下有益效果:所述前壁的高度小于侧壁的高度，可以使机械手不会碰撞到放置装置和硅片，确保机械手的安全距离；其次，在放置装置的底部加装了底板，提高放置装置的平衡性和稳定性；再者，在放置装置的侧壁上加装了把手，方便技术人员的操作和运输。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为现有技术的硅片放置装置的结构示意图。
[0019]图2为本实用新型的硅片放置装置的立体示意图。
[0020]图3为本实用新型的硅片放置装置的侧视图。
[0021]元件标号说明
[0022]100, 100A 盒体
[0023]I底板
[0024]2，2A 侧壁
[0025]21容置槽
[0026]22 把手
[0027]3，3A 前壁
[0028]4后壁
【具体实施方式】
[0029]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0030]请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。[0031 ] 本实用新型提供一种硅片放置装置，如图2和图3所示，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体100，所述盒体100至少包括:底板1、侧壁2和前壁3。
[0032]所述盒体(100)的两个侧壁2的内壁分别设有若干个容置槽21，该些容置槽21一一对应，每一对对应的容置槽21用于放置一片硅片(未予以图示)，每片硅片由容置槽21隔开，避免贴片。
[0033]需要说明的是，所述侧壁2的下端呈一定角度的弧形。相一致地，侧壁2内的容置槽21的下端也具有弧形，如图2所示，这具有弧形的容置槽21可以用于承载硅片，使硅片不会从放置装置掉落。
[0034]还需要说明的是，所述侧壁2的外侧设置有把手22。选优地，所述把手22设置在侧壁2的中上端。这样，便于技术操作人员在必要时进行手动传送硅片，降低硅片放置装置掉落的风险，提闻广品的良率。
[0035]另外，所述侧壁2之间的距离由待放置的硅片的直径来确定，侧壁2之间的距离可以稍微比硅片的直径略大，以能稳固的放置硅片为准。
[0036]所述底板I两侧与所述侧壁2相连接。现有技术中的硅片放置装置无底板，放置装置的牢固性差。本实用新型的硅片放置装置加装底板I后，进一步提高放置装置的牢固性和稳定性。
[0037]所述硅片放置装置还包括前壁3，所述前壁3与所述底板I的前沿对齐且连接于侧壁2间。所述前壁3可以与底板I前沿接触，也可以不接触。所述前壁3的高度小于侧壁2的高度，即，前壁3的上沿低于侧壁2的上沿。进一步地，所述前壁3的高度是侧壁2高度的1/2?2/3。本实施例中，所述前壁3的高度暂选为侧壁2的高度的三分之二。换句话说，就是将现有技术中硅片放置装置的前壁上端切除三分之一。本实用新型的放置装置的前壁3上端空缺，因此，当机械手抓取硅片时，增加了安全距离，避免机械手与放置装置碰撞而引起机械手变形。
[0038]另外，所述硅片放置装置还包括后壁4，所述后壁4连接于侧壁2之间，且与底板I的后沿相对齐。该后壁4的作用是加强整个硅片放置装置的稳固性。
[0039]再需要说明的是，所述硅片放置装置的材质为塑料，即所述底板1、侧壁2、前壁3、后壁4均为塑料。当然，也可以是其他合适的材质，在此不限。
[0040]综上所述，本实用新型提供一种硅片放置装置，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体，所述盒体至少包括:底板、侧壁和前壁；所述侧壁与所述底板两侧相连接，两侧侧壁内设置有多个一一对应的用于放置硅片的容置槽；所述侧壁外设有把手；所述前壁与所述底板的前沿对齐且连接于侧壁间；所述前壁的高度小于侧壁的高度；所述前壁的高度是侧壁高度的1/2?2/3。本实用新型具有以下有益效果:所述前壁的高度小于侧壁的高度，可以使机械手不会碰撞到放置装置和硅片，确保机械手的安全距离；其次，在放置装置的底部加装了底板，提高放置装置的平衡性和稳定性；再者，在放置装置的侧壁上加装了把手，方便技术人员的操作和运输。
[0041]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0042]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种硅片放置装置，其特征在于，所述硅片放置装置包括顶部开口的盒体，所述盒体至少包括:底板、侧壁和前壁； 所述侧壁与所述底板两侧相连接，两侧侧壁内设置有多个 对应的用于放置娃片的容置槽；所述侧壁外设有把手； 所述前壁与所述底板的前沿对齐且连接于侧壁间；所述前壁的高度小于侧壁的高度。
2.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述硅片放置装置还包括连接于所述侧壁之间的后壁，所述后壁与所述底板的后沿对齐。
3.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述前壁的高度是侧壁高度的1/2 ?2/3。
4.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述侧壁的下端呈一定角度的弧形。
5.根据权利要求4所述的硅片放置装置，其特征在于:所述容置槽的形状与侧壁一致，下端呈弧形。
6.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述把手设置于侧壁外的中上端。
7.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述侧壁之间的距离由待放置的硅片直径来确定。
8.根据权利要求1所述的硅片放置装置，其特征在于:所述底板、侧壁和前壁的材质均为塑料。
【文档编号】H01L21/677GK203787406SQ201420204377
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年4月24日 优先权日:2014年4月24日
【发明者】张治俊, 汤敬计, 张恒辉 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司