技术总结
本发明提供一种薄膜晶体管，包括：基板；栅极，设置在该基板上；栅极绝缘层覆盖该栅极；沟道层，设置在该栅极绝缘层上；蚀刻阻挡层，设置在该沟道层上，且该蚀刻阻挡层定义第一通孔与第二通孔；源极设置在该蚀刻阻挡层上经该第一通孔与该沟道层连接，且沿该蚀刻阻挡层延伸到该栅极绝缘层；及汲极设置在该蚀刻阻挡层上经该第二通孔与该沟道层连接，且沿该蚀刻阻挡层延伸到该栅极绝缘层。本发明还涉及一种薄膜晶体管的制造方法。
技术研发人员：方国龙;高逸群;林欣桦;李志隆;施博理
受保护的技术使用者：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
文档号码：201510174388
技术研发日：2015.04.14
技术公布日：2017.01.04