光接收元件、光学模块和光学接收器的制作方法

文档序号:11852016阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光接收元件,包括:

透镜单元,所述透镜单元集聚入射光从而将该光从出射表面出射;

吸收层,所述吸收层被布置在所述透镜单元的所述出射表面上以吸收集聚光的一部分并且透射剩下的集聚光;和

检测层,所述检测层被放置在所述吸收层上以基于由所述吸收层吸收的光的强度检测从所述透镜单元出射的光的强度。

2.根据权利要求1所述的光接收元件,其中,所述吸收层形成为具有吸收集聚光的至少5%且至多20%的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的光接收元件,其中,所述检测层透射入射光,并且将所吸收的光的强度输出为电流的电极被布置在光不进入的区域。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光接收元件,其中,所述检测层由第一检测层和第二检测层构成,所述第一检测层被布置在所述吸收层的入射表面侧上,并且所述第二检测层被布置在所述吸收层的出射表面侧上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光接收元件,其中,无反射膜被布置在所述第二检测层的与布置有所述吸收层的一侧相反的一侧的表面上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光接收元件,其中,所述透镜单元和所述检测层每个都是用Si作为主要成分而形成,并且

所述吸收层是用Ge或SiGe作为主要成分而形成。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的光接收元件,其中,所述透镜单元和所述检测层每个都是用InP作为主要成分而形成,并且

所述吸收层是用InGaAs或InGaAsP作为主要成分而形成。

8.一种光学接收器,包括:

根据权利要求1至7中任一项所述的光接收元件,所述光接收元件集聚并透射入射信号光;和

控制单元,所述控制单元基于由所述光接收元件检测到的光的强度执行预定的控制。

9.一种光学模块,包括:

信号光出射单元,所述信号光出射单元出射信号光;

根据权利要求1至7中任一项所述的光接收元件,所述光接收元件集聚并透射出射的信号光;

本振光出射单元,所述本振光出射单元出射本振光;

透镜单元,所述透镜单元集聚出射的本振光;

复用单元,所述复用单元复用穿过所述光接收元件的信号光和集聚的本振光以出射复用光信号;和

转换单元,所述转换单元将从所述复用单元出射的复用光信号转换成电信号,其中

所述本振光出射单元基于由所述光接收元件检测到的光的强度调节待出射的本振光的强度。

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