带粗调的放大式压电致动器的制作方法

技术总结
本发明提供一种整合推螺纹棒粗调和机械放大式压电动作微调的压电式致动器的三种设计变形。机械放大器沿纵轴容纳一个或多个预加载的压电叠堆，以转化为放大几个数量级的，垂直于压电叠堆位移的沿横轴位移。压电放大器输出行程被传送到在末端带有球的螺纹棒以推动所设表面的位置调整和位移变换，例如镜架等应用。

技术研发人员：S·法蒂;M·罗布森;K·蒂斯
受保护的技术使用者：统雷有限公司
文档号码：201580047032
技术研发日：2015.08.13
技术公布日：2017.05.31