技术特征：
技术总结
本发明是关于一种改善光阻不均的薄膜晶体管电路结构及方法，其于覆盖有第一电路线的绝缘层的一表面制作为具有平坦的特征，使绝缘层的表面不会受第一电路线的结构影响而不平坦；又于堆栈于绝缘层上并覆盖有第二电路线的钝化层的一表面制作为具有平坦的特征，使钝化层的表面不会受第二电路线的结构影响而不平坦；钝化层的平坦层可供有机光阻在旋转涂布的制程中，均匀地扩散而不会受结构影响而产生光阻不均现象。
技术研发人员：彭剑英
受保护的技术使用者：凌巨科技股份有限公司
技术研发日：2016.02.25
技术公布日：2017.09.05