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接触垫结构的制作方法
文档序号:12888856
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来源:国知局
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接触垫结构的制作方法与工艺
技术特征:
技术总结
本发明提供了一种接触垫结构,包括交替堆叠的N层(N≥6)绝缘层及N层导电层,且具有排成二维阵列的N个区域露出各导电层。当这些导电层由下至上编号为第1至第N导电层时,同列的区域中露出的导电层的编号Ln朝一行方向递减,相邻两列的区域之间的Ln值差异固定,同行的区域中Ln由两端向中央渐减,且相邻两行的区域之间的Ln值差异固定。
技术研发人员:
林志曜
受保护的技术使用者:
旺宏电子股份有限公司
技术研发日:
2016.04.29
技术公布日:
2017.11.07
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