一种柔性背板及其制作方法、柔性显示装置与流程

文档序号:11869849阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性背板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层;其中,所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层;

在所述层间绝缘层上涂布光阻,通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道;所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道,且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层,所述多条第一断线沟道均未与所述源/漏过孔连通;形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同;

在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层;其中,所述钝化层为第二无机层;

在所述钝化层上通过涂布光阻,曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔;

在所述第二无机层上形成有机发光层和封装层,从而形成柔性显示装置。

2.如权利要求1所述的柔性背板的制作方法,其特征在于,在所述钝化层上通过涂布光阻,曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔的同时还形成了第二组断线沟道,所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道,且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层,所述多条第二断线沟道均未与所述部分像素阳极过孔连通;形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同。

3.如权利要求2所述的柔性背板的制作方法,其特征在于,所述第一组断线沟道中的第一断线沟道与相应位置的第二断线沟道连通。

4.如权利要求2所述的柔性背板的制作方法,其特征在于,所述第一及第二组断线沟道中的每一断线沟道在所述基板上的投影均为长形。

5.一种柔性背板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层及钝化层;其中,所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层,所述钝化层为第二无机层;

在所述钝化层上通过涂布光阻,曝光、显影及蚀刻同时形成部分阳极过孔及第二组断线沟道,所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道,且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层,所述多条第二断线沟道均未与部分像素阳极过孔连通;形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同;

在形成有部分像素阳极过孔及第二组断线沟道的钝化层上形成有机发光层和封装层,从而形成柔性显示面板。

6.如权利要求5所述的柔性背板的制作方法,其特征在于,在形成钝化层之前还包括:

在所述层间绝缘层上涂布光阻,通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道;所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道,且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层,所述多条第一断线沟道均未与源/漏过孔连通;形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。

7.一种柔性背板,包括依次层叠设置的柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、钝化层及有机发光层和封装层,所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层,所述钝化层为第二无机层,其中,所述第一及第二无机层中至少一个具有一组断线沟道,该组断线沟道包括多条断线沟道,且每条断线沟道均贯穿相应的无机层,所述多条断线沟道均未与相应无机层的金属过孔连通;其中,形成金属过孔的时间与形成该组断线沟道的时间相同。

8.如权利要求7所述柔性背板,其特征在于,当所述第一无机层具有该组断线沟道时,该组断线沟道为第一组断线沟道,相应的金属过孔为源/漏过孔,当所述第二无机层具有该组断线沟道,该组断线沟道为第二组断线沟道,相应的金属过孔为部分像素阳极过孔。

9.如权利要求7所述柔性背板,其特征在于,每一断线沟道在所述基板上的投影为长形。

10.一种柔性显示装置,其特征在于,包括权利要求7-9任意一项所述的柔性背板。

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