对封装芯片进行测试及失效分析的方法与流程

文档序号:12749599阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,包括:

对所述封装芯片靠近金球的一面进行第一次研磨,至暴露出所述金球;

对所述封装芯片靠近硅衬底的一面进行第二次研磨,至暴露出所述硅衬底;

通过所述金球及硅衬底对所述封装芯片进行测试及失效分析。

2.如权利要求1所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,所述第一次研磨与第二次研磨均为化学机械研磨。

3.如权利要求1所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,暴露出的金球的表面直径不小于所述金球直径的四分之三。

4.如权利要求3所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,暴露出的金球的表面直径大于40um。

5.如权利要求1所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,进行所述第一次研磨之后,所述封装芯片表面的高低差在10um之内。

6.如权利要求1所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,进行第二次研磨之后,还包括:对所述硅衬底进行打磨。

7.如权利要求1~6任一项所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,所述测试包括探针测试及红外定位。

8.如权利要求7任一项所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,所述探针测试包括:将探针卡上的探针与暴露出的金球相接触,对所述封装芯片进行电学测量。

9.如权利要求8所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,所述红外定位包括:将封装芯片通电,采用红外热像仪在所述硅衬底上通入红外线确定封装芯片的失效点。

10.如权利要求9所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,确定存在异常的封装芯片的失效点之后,还包括确定一无异常的封装芯片的失效点。

11.如权利要求10所述的对封装芯片进行测试及失效分析的方法,其特征在于,将无异常的封装芯片与存在异常的封装芯片的失效点进行比较,排除重合的失效点,对存在异常的封装芯片上的其余失效点进行失效分析。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1