一种晶圆级玻璃上芯片封装结构的制作方法

文档序号:12129240阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,包括影像传感器芯片(11)、第一重布线路(13)、第一输入输出凸块(14)、密封体(15)、覆盖玻璃(12)、第二重布线路(16)、导通金属(17)、第三重布线路(18)和第二输入输出凸块(19);所述影像传感器芯片(11)与覆盖玻璃(12)焊接,所述第一输入输出凸块(14)把影像传感器芯片(11)的新输入输出焊盘和覆盖玻璃(12)的底面的新输入输出焊盘进行电性连接;所述第一重布线路(13)通过重布线路工艺布置在影像传感器芯片(11)的正面,影像传感器芯片(11)与第一重布线路(13)进行电性连接;所述覆盖玻璃(12)的上表面布置有第三重布线路(18),在覆盖玻璃(12)的下表面布置有第二重布线路(16),所述第二重布线路(16)与第三重布线路(18)通过导通金属(17)电性连接;所述的第一输入输出凸块(14)设置在第一重布线路(13)上的焊盘上,第一重布线路(13)与第一输入输出凸块(14)进行电性连接;所述第一输入输出凸块(14)通过倒装工艺连接至第二重布线路(16)上的焊盘,第一输入输出凸块(14)与第二重布线路(16)进行电性连接;所述的第二输入输出凸块(19)设置在第三重布线路(18)的焊盘上,第三重布线路(18)与第二输入输出凸块(19)进行电性连接;所述的密封体(15)填充在影像传感器芯片(11)和覆盖玻璃(12)的四周。

2.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述的影像传感器芯片(11)是由硅晶圆铸造出来的具有影像传感器的集成电路裸片。

3.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述影像传感器芯片(11)上还设置有铝焊盘(111),第一重布线路(13)沿着影像传感器芯片(11)的铝焊盘(111)四周设置粘附层(131)、BCB1阻挡层(132)和BCB2阻挡层(133),并从铝焊盘(111)引出第一重布多层金属线(134),在第一重布多层金属线(134)上布置溅射凸点下金属层(135);并在溅射凸点下金属层(135)上植第一输入输出凸块(14);再通过倒装工艺将第一输入输出凸块(14)焊接到所述的覆盖玻璃(12)的第二重布线路(16)的金属线(162)上形成电性连接,并在第二重布线路(16)的金属线(162)增加钝化层(161)进行保护。

4.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述的第一重布线路(13)、第二重布线路(16)和第三重布线路(18)均是利用重布线路工艺在晶圆材料上增加一些金属和电介质层;重布线路工艺采用BCB/PI作为再分布的介质层,以铜作为再分布连线金属,采用溅射法积凸块底部金属层,丝绸印刷法沉积焊膏并回流。

5.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述密封体(15)是一种坚固与保护材料,材质为硅胶、玻璃胶和环氧树脂中的一种。

6.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述导通金属(17)为电镀铜柱、电镀钨和高分子导体涂布中的一种。

7.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述的第二输入输出凸块(19)用于外部的电性连装,连装方式采用表面贴装技术或热压焊接技术。

8.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述密封体(15)分别与影像传感器芯片(11)和所述的覆盖玻璃(12)粘接。

9.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述的第一输入输出凸块(14)为矩形金凸块、球形锡凸块和柱状铜凸块中的一种。

10.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃上芯片封装结构,其特征在于,所述覆盖玻璃(12)为普通玻璃、蓝宝石玻璃和镀膜玻璃中的一种。

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