专利名称：晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶圆级芯片封装领域，尤其涉及晶圆级芯 片封装时超薄环氧树脂薄膜的涂覆领域。
背景技术：
环氧树脂广泛应用于微电子封装领域，它是经由各组份按 一定重量比混合，达到一定粘度后被涂覆在已经制作出微腔体 结构的起保护作用的晶圆上(一般为玻璃晶圆)，涂胶后的保 护性晶圆与具有功能性器件的硅晶圆进行精密对位键合，带有 微腔体结构的玻璃晶圆被粘结在硅晶圆正面形成密闭结构，该 结构可以对硅晶圆上的对环境敏感微电子器件进行隔绝保护。
微电子器越来越向小型化发展，封装技术也逐渐向WLCSP 过度。在微电子器件晶圆级芯片尺寸封装中，例如CMOS图像传 感器、MEMS等微器件的封装，需要对其功能部位进行密闭保护， 一般做法是先在与硅晶圆相同尺寸的玻璃晶圆上用光刻胶光 刻制作出具有一定高度、与芯片外围轮廓尺寸一致的空腔，然 后在空腔的薄壁上涂覆一层很薄的环氧树脂薄膜，接着将涂过 胶的玻璃晶圆和硅晶圆在对位机里精确对位，最后在键合机里 进行键合完成封装。
玻璃晶圆微结构上环氧树脂胶膜的涂覆质量将直接决定 键合质量，进而影响最后产品良率。在CMOS图像传感器及MEMS器件晶圆级封装中，环氧树脂胶膜的厚度一般要求为2微米到4
微米，总厚度偏差0.5微米，胶膜必须是均匀连续的，不能 有断开和积聚。
由于玻璃晶圆上的微结构是凸凹不平的"井"字型腔体型 结构，涂胶时只能在腔体壁上涂胶，腔体内不能有环氧树脂胶， 所以旋转甩胶、喷胶及点胶设备均不能满足此要求。
到目前为之，晶圆级芯片尺寸封装厂多为用不锈钢滚轮， 人工手动滚胶来制备胶膜，其步骤为1)在一片毛玻璃板上 涂上厚度为IO微米左右的均匀平整薄胶层；2)作业员手动操 作带有手柄的不锈钢滚轮，在毛玻璃板薄胶膜上来回往复滚
动，滚动10-15分钟后，可在不锈钢滚轮上包覆一层5-6微米 厚胶膜；3)操作员手持已经滚好胶后的不锈钢滚轮，在已光 刻出微结构的玻璃圆片上均匀滚动，玻璃圆片上的微结构被涂 覆一层3-4微米的胶层；4)将玻璃圆片旋转90度，重复步骤 1) 步骤3)。
以上操作工程中，在需将玻璃圆片旋转90度时，及涂完胶 后的需将玻璃圆片平放在铺有无尘纸的操作板上时，由于其正 面已经覆盖有环氧树脂胶不能接触，只能从侧面将其旋转及只 能从背面将其拿起，而玻璃圆片的厚度一般为300-500微米， 所以无论从侧面将其旋转还是从背面将其拿起的操作都非常 困难，既耗时，又很容易接触正面的环氧树脂胶层产生不良品。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，使用该涂覆台可使提高晶圆级芯片 涂胶过程的工作效率，且可有效提高涂胶质量。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是 一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，包括顶升机 构，所述顶升机构活动穿设于涂覆台中，以使用方向为基准 所述顶升机构上部形成若干顶针，所述顶针可穿设过涂覆台上
端面；所述涂覆台上设有一组导轨，所述顶针位于所述导轨之 间，使用时，晶圆放置于涂覆台上，已覆胶的滚轮沿导轨滑动， 将环氧树脂涂覆于晶圆表面；晶圆涂胶后，通过顶升机构作用 使顶针将晶圆顶起即可轻松转动晶圆或将晶圆取下。
设有一汽缸，所述顶升机构与汽缸活塞连接，通过气动将 顶升机构顶起，使顶针顶起晶圆。
涂覆台上开上有若干真空吸盘口 ，所述真空吸盘口内容置 有真空吸盘，设有真空发生装置，所述真空吸盘与真空发生装 置连接，启动真空发生装置使真空吸盘作用而确保晶圆在涂胶 过程中不会移位，晶圆涂胶完毕时关闭真空发生装置即可开始 取下晶圆。
一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，包括载物台 和顶升机构，所述载物台的面积大于等于待涂膜的晶圆级芯片 的面积，以使用方向为基准所述载物台活动定位于涂覆台上 部中，顶升机构活动穿设于涂覆台和载物台中，所述顶升机构 上部形成若干顶针，所述顶针可穿设过载物台；所述涂覆台上 设有一组导轨，所述载物台位于所述导轨之间，使用时，晶圆 放置于载物台上，已覆胶的滚轮沿导轨滑动，将环氧树脂涂覆于晶圆表面；晶圆涂胶后，通过顶升机构作用使顶针将晶圆顶 起即可轻松转动晶圆或将晶圆取下。
以使用方向为基准所述载物台的上端面可与涂覆台的上
端面齐平。
以使用方向为基准:所述载物台的上端面亦可低于涂覆台 的上端面，且所述载物台和涂覆台上端面间的距离小于等于待 涂胶的晶圆厚度。
设有一旋转手柄，以使用方向为基准该旋转手柄上部活 动穿设过涂覆台并与载物台下部连接，所述旋转手柄可带动载 物台相对涂覆台转动，这样无需手动转动晶圆而避免了可能造 成的晶圆表面污染。
所述载物台可相对涂覆台转动九十度，这样晶圆随载物台 恰好转动九十度，确保转动角度到位。
所述旋转手柄上部通过转动机构与载物台下部连接。
设有一汽缸，所述顶升机构与汽缸活塞连接，通过气动将 顶升机构顶起，使顶针顶起晶圆。
涂覆台和所述载物台上对应开设有若干真空吸盘口 ，所述 真空吸盘口内容置有真空吸盘，设有真空发生装置，所述真空 吸盘与真空发生装置连接，启动真空发生装置使真空吸盘作用 而确保晶圆在涂胶过程中不会移位，晶圆涂胶完毕时关闭真空 发生装置即可开始取下晶圆。
本实用新型的有益效果是通过顶升机构上部顶针将已涂 胶的晶圆顶起，从而可方便的从晶圆侧面或背面将晶圆旋转， 及可方便的从晶圆背面将芯片取下，既提高了涂胶过程的工作效率，又防止因旋转晶圆及取下晶圆而接触晶圆已涂胶的正 面，有效提高了涂胶质量；综上所述，使用本实用新型可有效 提高晶圆级芯片环氧树脂薄膜涂覆操作的生产效率，且有效提 高了产品良率。
图l为本实用新型结构示意图； 图2为本实用新型的示意图。
具体实施方式
实施例一 一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台， 包括顶升机构l，所述顶升机构l活动穿设于涂覆台中，以使 用方向为基准所述顶升机构1上部形成若干顶针2，所述顶 针2可穿设过涂覆台上端面；所述涂覆台上设有一组导轨5， 所述顶针2位于所述导轨5之间，使用时，晶圆放置于涂覆台 上，已覆胶的滚轮沿导轨5滑动，将环氧树脂涂覆于晶圆表面； 晶圆涂胶后，通过顶升机构1作用使顶针2将晶圆顶起即可轻 松转动晶圆或将晶圆取下。
设有一汽缸，所述顶升机构与汽缸活塞连接，通过气动将 顶升机构顶起，使顶针顶起晶圆。
涂覆台上开上有若干真空吸盘口 ，所述真空吸盘口内容置 有真空吸盘，设有真空发生装置，所述真空吸盘与真空发生装 置连接，启动真空发生装置使真空吸盘作用而确保晶圆在涂胶 过程中不会移位，晶圆涂胶完毕时关闭真空发生装置即可开始取下晶圆。
实施例二种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，包 括载物台4和顶升机构1，所述载物台4的面积大于等于待涂 膜的晶圆级芯片的面积，以使用方向为基准所述载物台4
活动定位于涂覆台上部中，顶升机构1活动穿设于涂覆台和载
物台4中，所述顶升机构1上部形成若干顶针2，所述顶针2
可穿设过载物台4;所述涂覆台上设有一组导轨5，所述载物
台4位于所述导轨5之间，使用时，晶圆放置于载物台4上， 已覆胶的滚轮沿导轨5滑动，将环氧树脂涂覆于晶圆表面；晶 圆涂胶后，通过顶升机构1作用使顶针2将晶圆顶起即可轻松 转动晶圆或将晶圆取下。
以使用方向为基准所述载物台4的上端面可与涂覆台的 上端面齐平。 ，
以使用方向为基准所述载物台4的上端面亦可低于涂覆
台的上端面，且所述载物台4和涂覆台上端面间的距离小于等
于待涂胶的晶圆厚度。
设有一旋转手柄3，以使用方向为基准该旋转手柄3上 部活动穿设过涂覆台并与载物台4下部连接，所述旋转手柄3 可带动载物台4相对涂覆台转动，这样无需手动转动晶圆而避 免了可能造成的晶圆表面污染。
所述载物台4可相对涂覆台转动九十度，这样晶圆随载物 台恰好转动九十度，确保转动角度到位。
所述旋转手柄3上部通过转动机构与载物台4下部连接。设有一汽缸，所述顶升机构与汽缸活塞连接，通过气动将 顶升机构顶起，使顶针顶起晶圆。
涂覆台和所述载物台上对应开设有若干真空吸盘口，所述 真空吸盘口内容置有真空吸盘，设有真空发生装置，所述真空 吸盘与真空发生装置连接，启动真空发生装置使真空吸盘作用 而确保晶圆在涂胶过程中不会移位，晶圆涂胶完毕时关闭真空 发生装置即可开始取下晶圆。
权利要求1、一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于包括顶升机构(1)，所述顶升机构活动穿设于涂覆台中，以使用方向为基准所述顶升机构上部形成若干顶针(2)，所述顶针可穿设过涂覆台上端面；所述涂覆台上设有一组导轨(5)，所述顶针位于所述导轨之间。
2、 一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于包括载物台(4)和顶升机构(1)，所述载物台的面积 大于等于待涂膜的晶圆级芯片的面积，以使用方向为基准所 述载物台活动定位于涂覆台上部中，顶升机构活动穿设于涂覆 台和载物台中，所述顶升机构上部形成若干顶针(2)，所述顶 针可穿设过载物台；所述涂覆台上设有一组导轨(5)，所述载 物台位于所述导轨之间。
3、 根据权利要求2所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄 膜涂覆台，其特征在于以使用方向为基准所述载物台的上 端面与涂覆台的上端面齐平。
4、 根据权利要求2所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄 膜涂覆台，其特征在于以使用方向为基准所述载物台的上 端面低于涂覆台的上端面，且所述载物台和涂覆台上端面间的 距离小于等于待涂胶的晶圆厚度。
5、 根据权利要求2、 3或4所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于设有一旋转手柄(3)，以使用 方向为基准该旋转手柄上部活动穿设过涂覆台并与载物台下 部连接，所述旋转手柄可带动载物台相对涂覆台转动。
6、 根据权利要求5所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于:所述载物台可相对涂覆台转动九十度。
7、 根据权利要求5所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄 膜涂覆台，其特征在于所述旋转手柄上部通过转动机构与载物台下部连接。
8、 根据权利要求1或2所述的晶圆级芯片封装用环氧树 脂薄膜涂覆台，其特征在于设有一汽缸，所述顶升机构与汽缸活塞连接。
9、 根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于涂覆台上开上有若干真空吸盘口，所 述真空吸盘口内容置有真空吸盘，设有真空发生装置，所述真 空吸盘与真空发生装置连接。
10、 根据权利要求2所述的晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，其特征在于涂覆台和所述载物台上对应开设有若 干真空吸盘口，所述真空吸盘口内容置有真空吸盘，设有真空 发生装置，所述真空吸盘与真空发生装置连接。
专利摘要本实用新型公开了一种晶圆级芯片封装用环氧树脂薄膜涂覆台，包括顶升机构，顶升机构活动穿设于涂覆台中，以使用方向为基准顶升机构上部形成若干顶针，顶针可穿设过涂覆台上端面；涂覆台上设有一组导轨，顶针位于导轨之间，使用时，晶圆放置于涂覆台上，已覆胶的滚轮沿导轨滑动，将环氧树脂涂覆于晶圆表面；晶圆涂胶后，通过顶升机构作用使顶针将晶圆顶起即可轻松转动晶圆或将晶圆取下；还可包括载物台，载物台的面积大于等于待涂膜的晶圆级芯片的面积，载物台活动定位于涂覆台上部中，顶升机构活动穿设于涂覆台和载物台中，顶针可穿设过载物台，载物台位于导轨之间，使用时，晶圆放置于载物台上。
文档编号H01L21/00GK201374317SQ200920042279
公开日2009年12月30日 申请日期2009年3月20日 优先权日2009年3月20日
发明者杜彦召 申请人:昆山西钛微电子科技有限公司