一种基于纳米孔隙结构的无序增益介质的制备方法与流程

文档序号:12616708阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于纳米孔隙结构的无序增益介质的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

a、基片清洗;

b、将甲醇和THF以4:1的比例混合均匀作为溶剂;取相同重量的PMMA和PS混合作为溶质,PMMA和PS的平均分子量分别为100000和70000,以质量百分比为4%的比例配置溶液,并搅拌均匀;

c、将激光染料若丹明6G(Rh6G)加入步骤b所得溶液中,并加入1-2ml甲基丙烯酸羟乙酯作为助溶剂,染料浓度控制在5*10-3mol/L左右,磁力搅拌20-30分钟,得到橙色透明溶液;

d、利用旋涂仪将步骤c所得溶液旋涂在硅片上,环境温度控制在20~25℃左右,相对湿度低于40%;

e、将步骤d所得薄膜放入真空干燥箱中,以70℃干燥15分钟,对薄膜进行热固化,即可得到薄膜样品;

f、将步骤e所得的薄膜样品放入环己烷溶液中,并加热到60℃,1分钟后取出,可将样品中的PS去除;再将样品以70℃干燥15分钟,最终获得PMMA和空气孔隙结构的薄膜样品。

2.根据权利要求1所述一种基于纳米孔隙结构的无序增益介质的制备方法,其特征在于,所述基片清洗包括去离子水冲洗,浓硫酸去除金属氧化物,丙酮去除油脂,氨水去除残余浓硫酸,双氧水冲洗以及烘干。

3.根据权利要求1所述一种基于纳米孔隙结构的无序增益介质的制备方法,其特征在于,所述旋涂过程先以500~700rpm的低速预转,时间为几秒钟,并在预转过程中往硅片上滴入溶液,目的是初步将多余的溶液甩掉;然后进行高速旋转,转速在2000~4000rpm之间选择,持续时间为40秒左右,通过改变转速和持续时间控制薄膜厚度。

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