技术总结
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板，属于显示技术领域。薄膜晶体管包括：设置在衬底基板上的栅极；设置有栅极的衬底基板上设置有栅极绝缘层；设置有栅极绝缘层的衬底基板上设置有有源结构；设置有有源结构的衬底基板上设置有源漏极；其中，有源结构远离衬底基板的表面设置有凹孔，且部分源漏极嵌入凹孔内。本发明解决了TFT的能耗较大的问题，减小了薄膜晶体管的能耗，本发明用于薄膜晶体管。
技术研发人员：李云泽;杨妮;齐智坚;李少茹;顾可可
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
文档号码：201611046296
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.01.11