技术总结
本发明提供一种缺陷检测机台与SMIF的自锁系统及自锁方法，包括：SMIF、生产操作系统及缺陷检测机台；生产操作系统适于存储待检测晶圆的数据信息；缺陷检测机台适于对待检测晶圆进行缺陷检测，并记录检测完毕的晶圆的数据信息；SMIF与生产操作系统及缺陷检测机台相连接，适于将待检测晶圆置于缺陷检测机台后实现与缺陷检测机台自锁，并在缺陷检测机台对待检测晶圆检测后将缺陷检测机台记录的检测完毕的晶圆的数据信息与生产操作系统存储的待检测晶圆的数据信息进行比对，并在比对匹配时解除与缺陷检测机台的自锁。本发明只是借助现有的工作系统即可实现缺陷检测机台与SMIF的自锁，完全防止违规操作，而不需要设定额外的设备或系统，从而大大节约了成本。
技术研发人员：杨林;杜丽;侯杰元
受保护的技术使用者：中航（重庆）微电子有限公司
技术研发日：2016.12.05
技术公布日：2018.06.12