1.一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述方法采用三甲基铝作为有机铝源,高纯臭氧作为反应气体,高纯氮气作为清除气体在衬底上制备Al2O3介质致密膜层,然后涂覆聚对二甲苯层,包括以下步骤:
(1)清洗塑料衬底,获得清洁的塑料衬底;
(2)在所述清洁塑料衬底上,采用250-320℃的衬底温度,真空度下,采用三甲基铝作为铝源、高纯臭氧分子为反应气体,高纯氮气为清除气体,通过原子层沉积Al2O3介质致密膜层;
(3)对二甲苯二聚体进行140-180℃高温裂解产生双自由基二甲苯,再在Al2O3介质致密膜层表面冷凝并迅速聚合,得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜,作为阻挡水汽和氧气的屏障;
(4)将所述塑料衬底粘帖在OLED的金属阴极层上,压紧后,周围涂上PMMA,完成器件封装。
2.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述清洗塑料衬底包括以下步骤:
在乙醇溶液中超声清洗10-15分钟,去除塑料衬底表面的油脂,然后用去离子水冲洗,去除塑料衬底表面的盐,在40-50℃的氩气保护下烘干塑料衬底;
所述氩气为纯度为99.9%,氩气的环境气压为100-1000Pa。
3.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述原子层沉积三甲基铝的流量为10-20sccm,高纯臭氧的流量为20-50sccm,高纯氮气的流量为50-100sccm。
4.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述高纯臭氧的纯度为99.999%,高纯氮气的纯度为99.999%。
5.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,在所述原子层沉积的时间为30-50分钟。
6.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述Al2O3介质致密膜层的厚度为10-50nm。
7.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述聚对二甲苯薄膜的沉积温度为40-60℃。
8.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法,其特征在于,所述聚对二甲苯薄膜的沉积厚度为20-120nm。