技术总结
本发明提供一种柔性OLED显示屏的薄膜封装方法，所述方法采用三甲基铝作为有机铝源，高纯臭氧作为反应气体，高纯氮气作为清除气体，在衬底上使用原子层沉积工艺制备Al2O3致密介质膜层，然后涂覆聚对二甲苯层，通过固化的方法聚合成高分子膜。本发明提供上述方法有效克服OLED器件封装保护层在折弯柔性显示装置时容易断裂，从而使得水氧阻隔能力大幅降低，影响显示效果，甚至可能导致OLED失效的技术缺陷，本发明提供上述方法过程中不需要加入干燥剂，制备的封装结构能够有效的阻隔水氧对显示屏的浸入，防止材料老化，延长了OLED器件寿命。
技术研发人员：陈庆;曾军堂;王镭迪
受保护的技术使用者：成都新柯力化工科技有限公司
文档号码：201611195482
技术研发日：2016.12.22
技术公布日：2017.06.20