一种具有复合式多量子阱层的发光二极管的制作方法

文档序号:12407484阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,至少包括:一衬底,及依次位于所述衬底上的N型层、复合式多量子阱层和P型层,所述复合式多量子阱层包括交替层叠的势垒层和势阱层,其特征在于:所述势阱层包括带隙能级依次增大且周期性层叠的第一氮化物层、第二氮化物层和第三氮化物层。

2.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第一氮化物层为氮化铟层。

3.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第二氮化物层为铟镓氮层。

4.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第三氮化物层为氮化铝层。

5.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述多量子阱层还包括一位于所述势阱层上的保护层。

6.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述势阱层的周期数为1~20。

7.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述复合式多量子阱层的周期数为1~30。

8.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第一氮化物层的厚度为3~50Å。

9.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第二氮化物层的厚度为3~50Å。

10.根据权利要求1所述的一种具有复合式多量子阱层的发光二极管,其特征在于:所述第三氮化物层的厚度为3~50Å。

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