一种集中沥水型单晶硅硅片的制作方法

文档序号:12196666阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集中沥水型单晶硅硅片,主体为一硅片本体,其特征在于:所述的硅片本体上设置有若干凹形流道,所述的凹形流道的端部设置有弧形流道,所述的弧形流道一端延伸于硅片本体的底部边缘处。

2.根据权利要求1所述的一种集中沥水型单晶硅硅片,其特征在于:所述的凹形流道设置为弯曲的流线型。

3.根据权利要求1所述的一种集中沥水型单晶硅硅片,其特征在于:所述的弧形流道设置有两组,且均位于凹形流道的两端部。

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