放电灯的制作方法

文档序号:11449700阅读:287来源:国知局
放电灯的制造方法与工艺

本实用新型的实施方式涉及一种放电灯。



背景技术:

例如,公开有一种在液晶面板制造领域或印刷领域中用作向被照射物照射紫外线以进行曝光、固化、干燥等的光源的放电灯。

专利文献1:日本特开2009-259790号公报

放电灯具有:与一对电极连接且与放电灯的内部电连接的金属棒、与金属棒连接且从放电灯的外部供给电力的导线。

出于绝缘目的,在金属棒和导线之间的连接部的外周设置有灯头,但是根据制造方法,灯轴方向上的尺寸会出现公差。若产生尺寸公差,则从灯头外端到灯头内的导线为止的距离有时无法确保足以确保绝缘的距离。



技术实现要素:

本实用新型的实施方式提供一种抑制绝缘不良的放电灯。

根据本实用新型的实施方式提供一种放射出紫外线的放电灯,其具备:气密容器,在两端具有以彼此对置的方式密封有一对电极的密封部,并且该气密容器的内部被气密地密封;封入于气密容器的内部的汞及金属卤化物和稀有气体;金属棒,设置于一对电极的与气密容器相反的一侧;灯头,其具备覆盖密封部的一部分以及金属棒的一部分的第1凹部以及覆盖导线的一部分的第2凹部,并且,第1凹部的内径R1大于第2凹部的内径R2,所述密封部的外径RS大于第2凹部的内径R2。

根据本实用新型的实施方式,能够提供一种抑制绝缘不良的放电灯。

附图说明

图1是用于例示第1实施方式所涉及的放电灯1的示意图。

图2是第1实施方式所涉及的放电灯1的密封部16以及灯头30的放大示意图。

图中:1-放电灯、10-气密容器、12-放电空间、14-汞及金属卤化物、16-密封部、20-电极、22-轴材、24-线圈、26-箔片、28-金属棒、30-灯头、40-导线。

具体实施方式

以下说明的实施方式所涉及的放电灯放射出紫外线,该放电灯具备:气密容器,在两端具有以彼此对置的方式密封有一对电极的密封部,且该气密容器的内部被气密地密封;封入于气密容器的内部的汞及金属卤化物和稀有气体;金属棒,设置于一对电极的与气密容器相反的一侧;灯头,其具备覆盖密封部的一部分以及金属棒的一部分的第1凹部以及覆盖导线的一部分的第2凹部,并且,第1凹部的内径R1大于第2凹部的内径R2,密封部的外径RS大于第2凹部的内径R2。

根据本实施方式,能够抑制绝缘不良。

另外,在以下说明的实施方式所涉及的放电灯中,第2凹部的与密封部的延伸方向平行的方向上的尺寸L2为8mm以上。

根据本实施方式,能够更加可靠地抑制绝缘不良。

并且,在以下说明的实施方式所涉及的放电灯中,第1凹部的内径R1为10~13mm。

根据本实施方式,能够更加可靠地抑制绝缘不良。

以下,参照附图说明本实用新型的各个实施方式。

(第1实施方式)

下面,参考图1说明第1实施方式所涉及的放电灯1。图1中示出了放电灯1。

如图1所示,本实施方式所涉及的放电灯1具有:气密容器10、一对电极20、20。

在本实施方式中,例示了作为放电灯1使用了金属卤化物灯的实施方式。

气密容器10形成为直管状,在气密容器10的内部具有放电空间12。并且,通过在气密容器10的两端形成密封部16、16,将放电空间12保持为气密。气密容器10由透过紫外线的材料制成,例如由石英玻璃制成。气密容器的外径为23~28mm、全长为350~2100mm。

通过从一对放电电极20、20向放电空间12施加电力,使封入于放电空间12的汞及金属卤化物14和稀有气体(未图示)发光。放电空间12构成为内径例如为20~25mm、发光长度(放电电极20、20之间的距离)例如为250~2000mm。

汞14封入于放电空间12,并且通过从放电灯1的外部施加的电力,放射出例如254nm、365nm的紫外线。另外,从放电灯1的外部施加有电力时,汞14有助于维持放电。在放电灯1上并未供给有电力时,汞14在气密容器10内大部分以液体形式存在而一部分以气体形式存在。汞的封入量例如为0.3~2.0(mg/cm3)。

金属卤化物14封入于放电空间12,并且通过从放电灯1的外部施加的电力,放射出与汞不同的例如375nm、418nm的紫外线。在放电灯1上并未供给有电力时,金属卤化物14在气密容器10内大部分以固体形式存在。金属卤化物14例如包含铁、镓等。金属卤化物的封入量例如为0.03~0.15(mg/cm3)。

稀有气体在放电灯1启动时有助于促进放电,并且在放电开始后有助于维持放电。稀有气体的封入压力在25℃的条件下例如为1~7(kPa)。另外,稀有气体可以是氙气、氩气、氖气中的任意一种气体,或者也可以是两种以上的混合气体。

密封部16、16形成于放电空间12的两端。密封部16、16由与气密容器10相同的石英玻璃制成。在将放电电极20、20设置于所希望的位置之后,通过在减压状态下用未图示的气体燃烧器等熔融装置进行熔融并密封的所谓收缩密封来形成密封部16、16。另外,密封部16、16也可以由与气密容器10不同的石英玻璃等制成。并且,也可以通过基于未图示的钳子等成型装置的所谓夹紧密封来形成密封部16、16。密封部16、16的长度例如为20~25mm、外径RS例如为16~30mm。

一对放电电极20、20将从放电灯1的外部施加过来的电力导入到放电空间12,从而在放电空间12中产生电弧放电。一对放电电极20、20设置成一部分埋设于密封部16、16,并且以彼此对置的方式设置在放电空间12的两端部。一对放电电极20、20具有:轴材22、22;线圈24、24;箔片26、26;金属棒28、28。

轴材22、22用于向放电空间12施加电力。轴材22、22的一端向放电空间12突出,另一端埋设于密封部16、16。并且、在轴材22、22的向放电空间12侧突出的一端上设置有线圈24、24。另外,轴材22、22的另一端通过焊接与箔片26、26连接。轴材22、22例如由钨制成。

线圈24、24设置于轴材22、22的一端侧,线圈24、24从放电中的轴材22、22的前端放射温度,从而抑制轴材22、22的温度上升。线圈24、24的一端设置于轴材22、22的一端侧(即,放电空间12侧),另一端设置于轴材22、22的另一端侧。线圈24、24例如由钨制成。

箔片26、26埋设于密封部16、16且被密封部16、16密封,从而将气密容器10保持为气密。箔片26、26的一端与轴材22、22的另一端焊接,箔片26、26的另一端与金属棒28、28的一端焊接,并且箔片26、26埋设在密封部16、16。箔片26、26例如由钼制成。

金属棒28、28的一部分埋设于密封部16、16,并且金属棒28、28电连接气密容器10的内部和导线40、40。金属棒28、28的一端与箔片26、26焊接,另一端与导线40、40连接。金属棒28、28例如由钼制成。

灯头30、30设置于气密容器10的密封部16、16、金属棒28、28以及导线40、40的外周,用于防止金属棒28、28和导线40、40之间的连接部位暴露。灯头30、30例如由陶瓷制成。另外,为了使灯头30、30与气密容器10的嵌合更加牢固,可以在灯头30、30内例如用胶合剂固定灯头30、30和密封部16、16的一部分。

导线40、40用于将未图示的电源电路电连接于气密容器10的内部。导线40、40的一端与金属棒28、28的另一端连接,导线40、40的另一端与电源电路等连接。导线40、40例如由软铜线制成。另外,为了容易连接导线40、40和电源电路,在导线40、40的另一端可以设置未图示的端子。

上述结构的放电灯1例如采用所谓的空冷方式,即,在放电灯1得到电力供给而点亮时利用未图示的送风机等所输送的冷却风而进行冷却。另外,放电灯1也可以采用所谓的水冷方式,即,使用以包围放电灯1的方式设置的未图示的水冷套覆盖放电灯1,并且利用流过水冷套内部的液体(具体而言为水)来进行冷却。

在此,参考图2对灯头30进行更加详细的说明。图2是密封部16、电极20、金属棒28、灯头30、导线40的放大示意图。

在灯头30的内部形成有覆盖密封部16的一部分和金属棒28的一部分的第1凹部32以及覆盖导线40的一部分的第2凹部34。第1凹部32的内径R1大于第2凹部34的内径R2。另外,密封部16的外径RS大于第2凹部34的内径R2。而且,优选第2凹部34的与密封部16的延伸方向平行的方向上的尺寸L2为8mm以上。根据上述结构,在将密封部16插入于灯头30时,即使密封部16容纳于第1凹部32内也不会到达第2凹部34。因此,在从放电灯1的外部施加有电力时,在密封部16和灯头30之间,更严格而言在金属棒28和导线40之间难以产生介质击穿而引起放电,其结果能够抑制在放电灯1和灯头30之间产生绝缘不良。尤其,若第2凹部34的与密封部16的延伸方向平行的方向上的尺寸L2为8mm以上,则金属棒28和灯头30之间的距离延长,因而在金属棒28和导线40之间难以产生介质击穿而引起放电,其结果能够抑制在放电灯1和灯头30之间产生绝缘不良。

另外,第1凹部32的内径R1优选为10~13mm。通过将第1凹部32的内径R1设为10~13mm,足以填充用于保持灯头的无机粘合剂。

另外,在通过夹紧密封来形成密封部16、16的情况下,只要从与密封部16、16的延伸方向垂直的剖面上观察时的密封部的最长边大于第2凹部34的内径R2即可。此时,若将最长边设为RS,则等同于密封部16的外径RS大于第2凹部34的内径R2。根据上述结构,与通过收缩密封来形成密封部16、16时相同,在从放电灯1的外部施加有电力时,在密封部16和灯头30之间,更严格而言在金属棒28和导线40之间难以产生介质击穿而引起放电,其结果能够抑制在放电灯1和灯头30之间产生绝缘不良。

以上,对本实用新型的若干实施方式进行了例示,但这些实施方式只是举例说明,并没有限定实用新型范围的意图。这些新的实施方式能够以其它各种方式实施,在不脱离本实用新型宗旨的范围内,可进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式或其变形均属于本实用新型的范围或宗旨内,并且也包含在技术方案中记载的实用新型及其等同的范围内。

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