可增加晶粒数量及合格率的晶圆结构的制作方法

文档序号:12736454阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可增加晶粒数量及合格率的晶圆结构,包括一N型半导体层和一P型半导体层,P型半导体层贴附于该N型半导体层的一面上,于该N型半导体层的另一面上堆栈一N+型半导体层,其特征在于:所述晶圆结构于该N+型半导体层的表面形成有多个沟槽,该多个沟槽贯穿N+型半导体层和N型半导体层,且该多个沟槽的底部处于P型半导体层中,以形成多个晶粒。

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