技术总结
一种可供多点同测的探针卡，涉及半导体测试技术领域，包括PCB板，PCB板底层安置有探针基座，探针基座设有多个探针，其中所述探针基座包括多排针座，每排针座水平排列后倾斜以形成阶梯式排布，每个针座均固定有探针，该探针的针尖外露于所述针座，所述探针的针尖的倾斜角度与所述针座的倾斜角度相同，且各个探针的针尖处于同一水平面，与传统探针相比，在测试时探针针尖是倾斜于晶圆去接触晶圆的，与晶圆之间的接触位置也由探针的针尖变成针尖侧面，在相同的压力下本实用新型的方案晶圆表面受到的压强更小，更不容易被探针“凿孔”，因此晶圆更不易被损坏。
技术研发人员：董尚平
受保护的技术使用者：广东利扬芯片测试股份有限公司
文档号码：201621156117
技术研发日：2016.10.31
技术公布日：2017.06.20