一种腐蚀量均匀改进的制绒设备的制作方法

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池的制绒设备技术领域，具体是一种腐蚀量均匀改进的制绒设备。

背景技术：

晶体硅太阳能电池的生产主要流程通常为：制绒、扩散、湿法刻蚀、PECVD沉积、丝网印刷和烧结，制绒是太阳能电池生产首个工序，其目的主要是：1、去除硅片表面的机械损伤层；2、清除硅片表面油污和金属杂质；3、形成起伏不平的绒面，增加吸光面积，减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率，制绒其主要是通过HNO3、HF制绒、冲洗、KOH腐蚀、冲洗、HF、HCl清洗等处理，制绒设备为链式循环系统，多为四轨道到八轨道不等，硅片通过滚轮的传动分别经过腐蚀槽和清洗槽，硅片从一端进入，另一端卸下完成整个流程，其中各轨道的腐蚀量的均匀性成了生产线上一个不可忽视的监控指标。

如图1、图2所示为现有的制绒设备，其中1ˊ为储液槽，2ˊ为腐蚀槽，3ˊ为滚轮，4ˊ为输液管，5ˊ为泵浦，6ˊ为喷管，7ˊ为喷孔，腐蚀液是由储液槽内通过泵浦经过输液管输送到腐蚀槽，由腐蚀槽尾部一根与硅片行径方向垂直的喷管打入腐蚀槽内，然后溢流返回储液槽，但是由于喷管上的喷孔较大且位于腐蚀槽的尾部，以致于腐蚀槽内腐蚀液的溶液流速和温度都不均匀，导致与腐蚀液反应的硅片的腐蚀量不均匀绒面不好控制，另外储液槽内的腐蚀液由于溶液沉积或较长时间静置等原因，可能会存在腐蚀液在液位上的密度差异而被直接抽到腐蚀槽内用于制绒，影响制绒效果。

技术实现要素：

本申请提供一种能改善制绒设备中腐蚀液与硅片反应均匀性、从而提高制绒面的一致性效果的腐蚀量均匀改进的制绒设备，其技术方案如下：

一种腐蚀量均匀改进的制绒设备，包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮，所述制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于所述腐蚀槽下方的储液槽，所述腐蚀槽上部设有多个滚轮，储液槽内部设有输液泵浦及连接所述输液泵浦的输液管，还包括连接所述输液管的分液总管，所述分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置，所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔，所述腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管，所述回液管的上端位于所述腐蚀槽内、下端位于所述储液槽内，位于所述储液槽内的回液管上设有回液泵浦，所述输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器。

作为优选，所述腐蚀液均分装置包括数量对应于制绒轨道的安装在所述分液总管上的分液喷口，所述分液喷口各连接有分液支管，所述分液支管管壁上设有多个细小喷孔，所述分液支管安装在所述滚轮下方。

作为优选，所述分液支管等距排布且延伸方向与硅片行径方向一致，所述分液支管从腐蚀槽前端延伸至后端。

作为优选，还包括多个均布于所述储液槽内的用于搅拌腐蚀液的搅拌器。

作为优选，所述搅拌器包括搅拌叶轮、用于固定安装所述搅拌叶轮的旋转轴，所述旋转轴下方连接有电机，所述电机位于储液槽外部且电连接有用于控制转速的控制箱。

依据上述技术方案，所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔，向腐蚀槽内各处喷洒腐蚀液，可以有效降低流速差异对与硅片反应造成的影响，所述压力控制器控制腐蚀液均分装置各处的腐蚀液压力并调整，从而实现位于输液泵浦、回液泵浦之间的腐蚀液均分装置往腐蚀槽内各处喷洒腐蚀液的流速、温度几乎一致，另外所述储液槽内均布有用于搅拌腐蚀液的搅拌器，可以使得储液槽内的腐蚀液处于不断循环的过程中，让储液槽内的腐蚀液更加均匀，可以解决腐蚀液本身浓度不一致带来的不良影响。

附图说明

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明

图1为现有技术中制绒设备的结构示意图；

图2为图1中喷管结构示意图；

图3为本发明的改进的制绒设备结构示意图；

图4为图3中腐蚀液均分装置结构示意图；

图5为图4中分液总管结构示意图；

图6为图3中搅拌器示意图。

其中，1ˊ、储液槽；2ˊ、腐蚀槽；3ˊ、滚轮；4ˊ、输液管；5ˊ、泵浦；6ˊ、喷管；7ˊ、喷孔；1、储液槽；2、腐蚀槽；3、滚轮；4、输液泵浦；5、输液管；6、分液总管；7、腐蚀液均分装置；71、分液喷口；72、分液支管；73、喷孔；8、回液管；9、回液泵浦；10、压力控制器；11、搅拌器；111、搅拌叶轮；112、旋转轴；113、电机；114、控制箱。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图3所示，一种腐蚀量均匀改进的制绒设备，包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮3，所述制绒槽包括位于上层的腐蚀槽2和位于所述腐蚀槽2下方的储液槽1，所述腐蚀槽2上部设有多个滚轮3，储液槽1内部设有输液泵浦4及连接所述输液泵浦4的输液管5，还包括连接所述输液管5的分液总管6，所述分液总管6连接有用于往腐蚀槽2内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置7，所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔73，所述腐蚀液均分装置7的另一端连接有回液管8，所述回液管8的上端位于所述腐蚀槽2内、下端位于所述储液槽1内，位于所述储液槽1内的回液管8上设有回液泵浦9，所述输液泵浦4、回液泵浦9电连接压力控制器10。所述腐蚀液均分装置7上设有细小喷孔，向腐蚀槽2内各处喷洒腐蚀液，可以有效降低腐蚀液快速流动或定向流动造成的流速差异对与硅片反应造成的影响，另外所述压力控制器10通过检测输液泵浦4、回液泵浦9相应的压力值并进行微调，从而控制实现位于输液泵浦4、回液泵浦9之间的腐蚀液均分装置7往腐蚀槽2内各处喷洒腐蚀液的流速、温度几乎一致，实现各硅片的腐蚀量差异大大降低，硅片腐蚀量的片间差异从原有10%降到3%以下，达到制绒面的效果更好。

如图4、图5所示，作为优选，所述腐蚀液均分装置7包括数量对应于制绒轨道的安装在所述分液总管6上的分液喷口71，所述分液喷口71各连接有分液支管72，所述分液支管72管壁上设有多个细小喷孔73，所述分液支管72安装在所述滚轮3下方。在实际设计中，各个分液支管72上的喷孔根据腐蚀液流量和压力差异相应进行不同尺寸的设计，使得各个位置的腐蚀液喷出流速近乎一致，达到从储液槽1循环上来的腐蚀液可以在同一时间在腐蚀槽2的各个喷孔喷出，保证所有的硅片在各个位置都和流速、温度都非常均匀的腐蚀液进行反应。

如图4所示，作为优选，所述分液支管72等距排布且延伸方向与硅片行径方向一致，所述分液支管72从腐蚀槽2前端延伸至后端。一般默认腐蚀槽2中进入硅片的一端为前端、出去硅片的另一端为后端，通过设置分液支管72等距排布且从腐蚀槽2前端延伸至后端，保证了硅片在腐蚀槽2内各处更加均匀的接触腐蚀液。

如图3所示，作为优选，还包括多个均布于所述储液槽1内的用于搅拌腐蚀液的搅拌器11。通过设置搅拌器11，可以使得储液槽1内的腐蚀液处于不断循环的过程中，让储液槽1内的腐蚀液更加均匀。

如图6所示，作为优选，所述搅拌器11包括搅拌叶轮111、用于固定安装所述搅拌叶轮111的旋转轴112，所述旋转轴112下方连接有电机113，所述电机113位于储液槽1外部且电连接有用于控制转速的控制箱114。根据储液槽1内腐蚀液的液面高度或静置安放的时间或制绒设备是否处于工作状态等实际情况，控制箱114相应调整旋转轴112的转速，来实现储液槽1中腐蚀液的浓度均匀一致，保证后续硅片制绒时绒面效果更佳。

本实用新型的一种具体实施方式如下：

滚轮3输送硅片进入腐蚀槽2，电机113在调整好的一定的转速下搅拌储液槽1内的腐蚀液，输液泵浦4、回液泵浦9在控制器10的设定数据下分别进行腐蚀液的输送、回流循环工作，其中输液泵浦4通过输液管5将腐蚀液送入分液总管6内，分液总管6然后经分液喷口71向各分液支管72分流输送腐蚀液，腐蚀液通过分液支管72管壁上的若干个喷孔均匀地排入腐蚀槽2中与硅片接触进行化学反应。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。