一种腐蚀量均匀改进的制绒设备的制作方法

文档序号:11487447阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,包括用于承装腐蚀液的制绒槽、用于传送硅片的滚轮,所述制绒槽包括位于上层的腐蚀槽和位于所述腐蚀槽下方的储液槽,所述腐蚀槽上部设有多个滚轮,储液槽内部设有输液泵浦及连接所述输液泵浦的输液管,其特征在于,还包括连接所述输液管的分液总管,所述分液总管连接有用于往腐蚀槽内均匀喷洒腐蚀液的腐蚀液均分装置,所述腐蚀液均分装置上设有细小喷孔,所述腐蚀液均分装置的另一端连接有回液管,所述回液管的上端位于所述腐蚀槽内、下端位于所述储液槽内,位于所述储液槽内的回液管上设有回液泵浦,所述输液泵浦、回液泵浦电连接压力控制器。

2.如权利要求1所述的一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,其特征在于,所述腐蚀液均分装置包括数量对应于制绒轨道的安装在所述分液总管上的分液喷口,所述分液喷口各连接有分液支管,所述分液支管管壁上设有多个细小喷孔,所述分液支管安装在所述滚轮下方。

3.如权利要求2所述的一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,其特征在于,所述分液支管等距排布且延伸方向与硅片行径方向一致,所述分液支管从腐蚀槽前端延伸至后端。

4.如权利要求1所述的一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,其特征在于,还包括多个均布于所述储液槽内的用于搅拌腐蚀液的搅拌器。

5.如权利要求4所述的一种腐蚀量均匀改进的制绒设备,其特征在于,所述搅拌器包括搅拌叶轮、用于固定安装所述搅拌叶轮的旋转轴,所述旋转轴下方连接有电机,所述电机位于储液槽外部且电连接有用于控制转速的控制箱。

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