技术总结
本实用新型公开了一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构，包括正电极板、负电极板和信号输入极板，正电极板包括正极板绝缘衬底和正电极，负电极板包括负极板绝缘衬底和负电极，信号输入极板包括爆炸箔绝缘衬底、爆炸箔正电极、爆炸箔负电极，爆炸箔正电极、爆炸箔负电极对应设置；负电极板、信号输入极板、正电极板上下层压构成高压平面开关结构，正电极与负电极在空间位置上存在交叉部分，并且正电极板与负电极板之间通过绝缘衬底隔开，爆炸箔正电极与爆炸箔负电极之间的连线经过该交叉部分。本实用新型采用柔性印制电路板工艺制备高压平面开关，降低了高压平面开关结构的体积，便于与其他器件之间实现集成；由于采用电爆炸产生等离子体击穿绝缘介质击穿，开关响应时间更快。
技术研发人员：吕军军;王万军;付秋波;郭菲
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院化工材料研究所
文档号码：201621437962
技术研发日：2016.12.26
技术公布日：2017.08.29