基板处理装置的制作方法

本发明涉及用液体处理基板的基板处理装置。作为处理对象的基板，例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子体显示器用基板、fed(fieldemissiondisplay：场致发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、磁光盘用基板、光掩膜用基板、陶瓷基板和太阳能电池用基板等的基板。

背景技术：

对于逐片处理基板的枚叶式基板处理装置，使用药液或冲洗液等的处理液在腔体内进行基板的处理。在腔体内部设置有保持基板的旋转卡盘、驱动旋转卡盘转动的马达。在腔体内部还设置有多个包围旋转卡盘的保护件、与旋转卡盘保持的基板相对的遮挡板。

保护件能按照处理液的种类分别收集用处理液处理基板时从基板飞散出的处理液。保护件按照处理液的种类分别收集处理液，为了切换保护件，必须使多个保护件升降。再者，不需要保护件的时候，必须使保护件降至基板下方。

从基板除去处理液时，遮挡板把基板上表面附近的环境与周边隔离开。给基板供给处理液时，必须要使遮挡板上升，从而使遮挡板从基板的上表面附近退避开。干燥基板时，必须使遮挡板下降，从而使遮挡板靠近基板的上表面附近。

如上所述，在基板处理装置中设置了用于升降遮挡板或保护件等的部件的单元。

例如，在日本特开2013-51265号公报所记载的基板处理装置，其具有用于使包围旋转卡盘的杯升降的升降单元。升降单元包括连接在杯底部的轴、与轴螺合的滚珠丝杠螺母、使滚珠丝杠螺母旋转的伺服电机。通过滚珠丝杠螺母的旋转，轴上下移动。基于此，杯进行升降。

技术实现要素：

在日本特开2013-51265号公报所记载的基板处理装置中，其伺服电机和轴的下端位于底板的下方。因此，基板处理装置在上下方向可能会变得更大。尤其是，将多个基板处理装置(单元)层叠配置的情况下，整体在上下方向的尺寸显著增大。

鉴于此，本发明的一个目的是提供一种基板处理装置，其既具备驱动升降部件升降的升降驱动单元，同时又能抑制在上下方向的尺寸。

本发明提供一种基板处理装置，其包括：腔体，该腔体具有底板，该底板具有隔开收纳空间的下方的上表面；基板保持单元，该基板保持单元被收纳于所述腔体的收纳空间，并载放于所述底板的上表面，并且用于保持基板；升降部件，该升降部件能在所述腔体的收纳空间内升降；升降驱动单元，该升降驱动单元驱动所述升降部件的升降。并且，所述升降驱动单元包括：驱动源，该驱动源配置在所述底板的下表面的上方；升降头，该升降头与所述升降部件连接，并且在整体位于所述底板的下表面的上方的可移动范围内，所述驱动源使该升降头上下移动。

基于此构造，升降驱动单元驱动升降部件的升降。在升降驱动单元中，即使升降头位于可移动范围的最下方的位置时，驱动源和升降头也配置在底板的下表面的上方。因此，与驱动源或者升降头配置于底板的下表面的下方的构造相比，能限制基板处理装置在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述驱动源被收纳于所述腔体的收纳空间内。基于此构造，驱动源被收纳在腔体的收纳空间内。因此，能限制基板处理装置在上下方向以及水平方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述驱动源的整体配置在所述升降头的可移动范围的侧方。基于此构造，驱动源的整体配置在升降头的可移动范围的侧方。因此，能限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。由此，进一步限制了基板处理装置在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述驱动源包括旋转驱动源，该旋转驱动源使沿水平方向延伸的旋转轴旋转，所述升降驱动单元包括旋转传递单元，该旋转传递单元通过将所述旋转轴的旋转传递给所述升降头，从而使所述升降头上下移动。基于此构造，能通过将在水平方向延伸的旋转轴的旋转传递给升降头，从而使升降头上下移动。因此，使用在旋转轴的轴方向上较长的驱动源的情形下，也能限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述旋转传递单元包括：多个齿条，该多个齿条固定在所述升降头上并且上下排布；齿轮，该齿轮传递所述旋转轴的旋转并且与所述齿条相啮合。基于此构造，通过采用相互啮合的齿条和齿轮的简单的构造，能将配置在升降头的侧方的旋转轴的旋转传递给升降头。由此，很容易将驱动源的整体配置在升降头的可移动范围的侧方。基于此，能进一步限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述驱动源包括旋转驱动源，该旋转驱动源使沿上下方向延伸的旋转轴旋转。所述升降驱动单元包括旋转传递单元，该旋转传递单元通过将所述旋转轴的旋转传递给所述升降头，从而使所述升降头上下移动。基于此构造，通过将在上下方向延伸的旋转轴的旋转传递给升降头，从而能使升降头上下移动。因此，在将旋转轴的轴方向朝向上下方向从而配置驱动源的同时，能限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述旋转传递单元包括：螺纹轴，该螺纹轴传递所述旋转轴的旋转并且在上下方向延伸；螺母，该螺母固定在所述升降头并且与所述螺纹轴螺合。基于此构造，通过采用螺纹轴及与其配合的螺母的简单构造，能将旋转轴的旋转传递给升降头。因此，能进一步限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述升降驱动单元包括引导单元，该引导单元引导所述升降头的上下移动。基于此构造，通过引导单元来引导升降头的上下移动。因此，能使升降头准确并平稳地上下移动。从而，能缩小升降头与其他部件之间的距离。

在本发明的一实施方式中，所述引导单元包括导向部件，该导向部件固定于所述腔体，并且对升降头进行凹凸卡合而能滑动。基于此构造，通过采用升降头和导向部件凹凸卡合的简单构造，能引导升降头的上下移动。因此，能进一步限制升降驱动单元在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述升降部件包括包围所述基板保持单元的保护件。所述升降驱动单元包括使所述保护件升降的保护件升降驱动单元。基于此构造，即使基板处理装置包括包围所述基板保持单元的保护件的情形下，也能抑制基板处理装在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述升降部件包括遮挡板，该遮挡板与所述基板保持部件保持的基板的上表面相对。所述升降驱动单元包括遮挡板升降驱动单元，该遮挡板升降驱动单元使所述遮挡板升降。基于此构造，即使基板处理装置包括与基板的上表面相对的遮挡板的情形下，也能抑制基板处理装置在上下方向的尺寸。

在本发明的一实施方式中，所述基板处理装置还包括隔离部件，该隔离部件将所述升降驱动单元从所述腔体的收纳空间内的环境中隔离。基于此构造，经由隔离部件，升降驱动单元从腔体内的收纳空间内的环境中被隔离。因此，不论从腔体的收纳空间内的环境中飞散的何种数量和种类的物质，驱动源及升降头都能配置在基板的下表面的上方。

在本发明的一实施方式中，所述基板处理装置还包括：螺旋状的配线，该螺旋状的配线连接于所述遮挡板并且能上下伸缩；配线导向件，该配线导向件与所述遮挡板一起升降，并引导所述配线的伸缩；隔离部件，该隔离部件将所述遮挡板升降驱动单元从所述腔体的收纳空间内的环境中隔离，并且，所述隔离部件包括波纹管，该波纹管能上下伸缩并且收纳了所述配线和所述配线导向件。

基于此构造，螺旋状的配线连接于遮挡板，且能上下伸缩。因此，螺旋状的配线在上下方向上的尺寸，可以配合遮挡板的升降来进行调整。因此，相比于在遮挡板升降时没有上下伸缩的、通过使向下方垂吊着的u字状的部分上下移动来调整在上下方向的尺寸而构成的配线，即与采用非螺旋状的配线的情况相比，采用螺旋状的配线能减小在上下方向所必须的空间。

再者，经由配线导向件能引导螺旋状的配线的伸缩。因此防止了螺旋状的配线倒塌或者配线的一部分在水平方向上挤出的情况。基于此，能防止由于配线与波纹管接触而引起的波纹管的损伤。换言之，没有必要为了确保配线的伸缩而在波纹管内预留很大的空间。因此，波纹管可以更小。基于此，不会压迫腔体内的容纳空间，能将用于遮挡板的升降驱动单元及配线配置在腔体内。

在本发明的一实施方式中，所述基板处理装置包括：流体供给喷嘴，该流体供给喷嘴给由所述基板保持单元保持的基板供给流体；喷嘴臂，该喷嘴臂使所述流体供给喷嘴水平移动。所述升降驱动单元配置在所述喷嘴臂的水平移动范围的正下方。

基于此构造，升降驱动单元被配置在喷嘴臂的水平移动范围的正下方。因此，能利用喷嘴臂的下方的空间，从而抑制基板处理装在上下方向的尺寸。

针对本发明的上述的或者其他目的、特征及效果，下面参照附图及下列实施方式的说明来进一步阐明。

附图说明

图1是用于说明本发明的一实施方式的基板处理系统所具有的处理单元的构成例的示意平面图。

图2是相当于沿着图1的ii-ii线的剖面图，是用于说明所述处理单元的构成例的示意图。

图3是保护件升降驱动单元周边的放大剖面图。

图4是保护件升降驱动单元周边的立体图。

图5是沿着图4的v-v面的剖面示意图。

图6是沿着图1的vi-vi线的剖面示意图。

图7是沿着图1的vii-vii线的剖面示意图。

图8是沿着图7的viii-viii线的剖面示意图。

具体实施方式

图1是用于说明本发明的一实施方式的基板处理系统1所具有的处理单元2的构成例的示意平面图。处理单元2包括在本发明的处理装置中。图2是相当于沿着图1的ii-ii线的剖面图，是用于说明处理单元2的构成例的示意图。

基板处理系统1是逐片处理硅晶片等基板w的枚叶式的装置。基板处理系统1包括多个处理单元2和用于分别相对于多个处理单元2进行基板w的搬入/搬出的搬运机器人(图中未示出)。各个处理单元2使用液体处理基板w。在本实施方式中，多个处理单元2沿上下方向z层叠配置。与图2的纸面中央部分的处理单元2的下方邻接的处理单元称为处理单元2a，与图2的纸面中央部分的处理单元2的上方邻接的处理单元称为处理单元2b。

下面针对构成一种处理单元2的部件的构造、及构成一种处理单元2的部件之间的位置关系进行说明。也就是说，在没有特殊说明的情况下，以下的部分没有说明构成某一个处理单元2的部件和构成与该处理单元2不同的处理单元2(处理单元2a、2b等的其他处理单元)的部件之间的位置关系的内容。

处理单元2包括：大致长方体的腔体3，该大致长方体的腔体3具有底板30，底板30具有隔开收纳空间a的下方的上表面30a；旋转卡盘5，该旋转卡盘5保持基板w。旋转卡盘5包括在保持基板w的基板保持单元。基板保持单元也称为基板支架。旋转卡盘5被收纳于腔体3的收纳空间a，载放于底板30的上表面30a。

底板30，例如是铝制的板。腔体3包括：多个侧板33(在该实施方式中有4个)，该侧板33从底板30向上方延伸，且从水平方向上隔开收容空间a区域；顶板34，该顶板34与多个侧板33连结，且从上方隔开收纳空间a区域；快门35，该快门35能够在搬运机器人使基板w进出时进行开闭。快门35设计有密封底板30、邻接的侧板33及顶板34之间的间隔的填料(图中未示出)。

底板30的下表面30b上安装有脚部31。脚部31是位于处理单元2的最下方的部件。处理单元2设置在处理单元2a的上方，其脚部31与其下方邻接的处理单元2a的腔体3的顶板34抵接。

旋转卡盘5包括：夹持基板w的多个卡销20；旋转底座21，该旋转底座21支撑多个卡销20、且沿着水平方向形成圆盘形状；中心轴22，该中心轴22相连于旋转底座21、且绕着以穿过基板w的中心的垂直旋转轴线c1旋转；基板旋转驱动单元23，该基板旋转驱动单元23使中心轴22围绕旋转轴线c1旋转。多个卡销20沿圆周方向间隔设置在旋转底座21的上表面的周缘部。基板旋转驱动单元23，例如包括电动马达，该电动马达载放于底板30的上表面30a，通过给予中心轴22旋转力，使卡销20、旋转底座21及中心轴22绕着旋转轴线c1整体旋转。

处理单元2包括ffu(风机过滤单元)4，该ffu从腔体3的上方向其内部输送清洁空气(通过过滤器过滤后的空气)。ffu4安装于顶板34。ffu4包括：过滤器，该过滤器(图中未示出)用于过滤基板处理系统1所配置的洁净室内的空气；风扇(图中未示出)，该风扇将过滤器过滤后的空气送入腔体3内的收纳空间a。ffu4也可以在出风口处设置具有多个孔的冲孔板(图中未示出)。由此，可以防止收纳空间a内部发生空气涡旋。

进一步地，处理单元2还包括：为保持在旋转卡盘5的基板w的上表面供给处理液的多个喷嘴41～43(第1～第3喷嘴41～43)；和分别使多个喷嘴41～43移动的多个喷嘴移动单元44～46(第1～第3喷嘴移动单元44～46)。多个喷嘴41～43及多个喷嘴移动单元44～46被收纳于腔体3的收纳空间a。为方便表述，图2中表示了第1喷嘴41，但实际的图2所示的剖面中，第1喷嘴41没有出现。第1喷嘴移动单元44使第1喷嘴41移动。第2喷嘴移动单元45使第2喷嘴42移动。第3喷嘴移动单元46使第3喷嘴43移动。

供给基板w的处理液是用于处理基板w的表面的流体，例如，包括氢氟酸等的药液、去离子水(diw)等的冲洗液、以及异丙醇(isopropylalcohol：ipa)等的有机溶剂。

药液不限于氢氟酸，还可以是含有硫酸、醋酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氨水、双氧水、有机酸(例如，柠檬酸、草酸等)、有机碱(例如，tmah：四甲基氢氧化铵等)、界面活性剂、防腐蚀剂中的至少一种的液体。作为混合上述液体的药液，可举例如spm(sulfuricacid/hyfrogenperoxidemixture：硫酸双氧水混合液)、sc1(ammonia-hydrogenperoxidemixture：氨水双氧水混合液)等。

冲洗液不限于去离子水，也可以是碳酸水、电解离子水、含氢水、臭氧水、以及具有稀释浓度(例如，10～100ppm左右)的盐酸水中的任一者。

有机溶剂不限于ipa，也可以是包含ipa、hfe(hydrofluoroether：氢氟醚)、甲醇、乙醇、丙酮和反-1,2-二氯乙烯中的至少一种的液体。再者，有机溶剂不一定是由单组分组成的，也可以是与其他成分混合而成的液体。例如，可以是ipa液体与纯水的混合液，也可以是ipa液体与hfe液体的混合液。

各喷嘴41～43提供不同种类和浓度的处理液。在本实施方式中，第1喷嘴41是给基板w的上表面供给氢氟酸的氢氟酸供给喷嘴。第2喷嘴42是给基板w的上表面供给spm的spm供给喷嘴。第3喷嘴43是给基板w的上表面供给diw的diw供给喷嘴。通过diw供给喷嘴，也能清洗旋转卡盘5的卡销20。基于此，在连续处理基板w时，能防止卡销20被污染。

经由多个喷嘴41～43向基板w供给的流体，不限于处理液，也可以是氮气等非活性气体。

各喷嘴41～43分别连接有从处理液的供给源延伸出的各自的处理液供给管47～49。多个处理液供给管47～49上分别插装有控制该流路开闭的开关阀(图中未示出)。

各喷嘴移动单元44～46，例如，包括沿垂直方向的旋转轴50、与旋转轴50连接的在水平方向延伸的喷嘴臂51、驱动旋转轴50旋转的旋转轴驱动单元52。通过旋转轴驱动单元52使旋转轴50绕着旋转轴50的中心轴线转动，喷嘴臂51随旋转轴50一起转动。由此，各个喷嘴41～43在与基板w的上表面的中央相对的中央位置、和与基板w的上表面在上下方向z中不相对的退避位置之间移动。

进一步地，处理单元2还包括，包围旋转卡盘5的排气桶60、设置在旋转卡盘5和排气桶60之间的多个杯61、62(第1杯61和第2杯62)、接收向基板w周围飞散的处理液的多个保护件64～66(第1～第3保护件64～66)。排气桶60、多个杯61、62及多个保护件64～66都收纳于收纳空间a内。

进一步地，处理单元2还包括分别驱动多个保护件64～66升降的多个保护件升降驱动单元67～69(第1～第3保护件升降驱动单元67～69)。在本实施方式中，从平面图看，各保护件升降驱动单元67～69是以基板w的旋转轴线c1为中心而成为点对称地设计为一对。因此，能使多个保护件64～66分别平稳地升降。多个升降驱动单元67～69除去一部分外，其余部分被收纳于容纳空间a内。在收纳空间a内，多个升降驱动单元67～69设置在多个喷嘴41～43的喷嘴臂51的水平移动范围内的正下方。

容纳空间a内可升降的升降部件包括多个保护件64～66。驱动作为升降部件的第1保护件64升降的升降驱动单元包含一对第1保护件升降驱动单元67。驱动作为升降部件的第2保护件65升降的升降驱动单元包含一对第2保护件升降驱动单元68。驱动作为升降部件的第3保护件66升降的升降驱动单元包括一对第3保护件升降驱动单元69。升降驱动单元也称作升降机。

在本实施方式中，第1～第3保护件升降驱动单元67～69分别成对设计。但是，与本实施方式不同，第1～第3保护件升降驱动单元67～69也可以分别按照单个设计。

排气桶60包括圆筒状的筒状部60a、从筒状部60a向筒状部60a的径向外侧方向突出的多个(本实施方式中是2个)突出部60b和分别从上方覆盖多个突出部60b的多个盖部60c。多个保护件升降驱动单元67～69在筒状部60a的圆周方向上与突出部60b在相同的位置，并且设置于在基板w的旋转径向方向上突出部60b的内侧。具体而言，在圆周方向上与各个突出部60b相同的位置，分别配置一组由第1保护件升降驱动单元、第2保护件升降驱动单元68和第3保护件升降驱动单元69构成的组。

各个杯61、62为圆筒状。各个杯61、62在基板w的旋转径向方向上，设置于排气桶60的筒状部60a的内侧，包围旋转卡盘5。第2杯62在基板w的旋转径向方向上，设置于第1杯61的外侧。例如，第2杯62和第1保护件64为一整体，与第1保护件64一同升降。各个杯61、62形成向上方展开的环状的沟部。

各个杯61、62的沟部连接着回收配管(图中未示出)或废液配管(图中未示出)。导入各个杯61、62的底部的处理液，通过回收配管或废液配管被回收或废弃。

各保护件64～66为圆筒状，在基板w的旋转径方向上位于排气桶60的筒状部60a的内侧，包围旋转卡盘5。各保护件64～66包括包围旋转卡盘5周围的圆筒状的引导部71、和从引导部71的上端向中心侧(向基板w的旋转轴线c1接近的方向)斜上方向延伸的圆筒状的倾斜部72。

3个引导部71排布在一条轴上。第2保护件65的引导部71设置在基板w旋转径方向上第1保护件64的引导部71的外侧。第3保护件66的引导部71设置在基板w旋转径方向上第2保护件65的引导部71的外侧。

各倾斜部72的上端部构成了各保护件64～66的内周缘，并且其直径比基板w及旋转底座21的直径大。三个倾斜部72上下重叠。

各保护件64～66可以在上部位置和下部位置之间移动，该上部位置为各保护件64～66的倾斜部72的内周面与基板w的周缘面相对的位置，该下部位置为整体相对于基板w为下侧的位置。向基板w供给处理液或者干燥基板w时，保护件64～66均处于上部位置的状态。具体而言，用处理液处理基板w的过程，在第1保护件64及第2保护件65全部处于上部位置的状态下进行。给基板w供给处理液时飞散到基板w的周围的处理液，当所有的保护件64～66处于上部位置时，通过第1保护件64引导到第1杯61中；当第2保护件65及第3保护件66处于上部位置，而第1保护件64处于下部位置时，通过第2保护件65引导到第2杯62中。基板w的干燥仅仅是在最外侧的第3保护件66处于上部位置的状态下进行。

进一步地，处理单元2还包括：遮挡板6，该遮挡板6与旋转卡盘保持的基板w的上表面相对并保持一定的间隔；遮挡板支撑部件53，该遮挡板支撑部件53与遮挡板6连接并在水平方向延伸。进一步地，处理单元2还包括：遮挡板升降驱动单元54，该遮挡板升降驱动单元54通过遮挡板支撑部件53与遮挡板6连接，并驱动遮挡板6的升降；和遮挡板旋转驱动单元55，该遮挡板旋转驱动单元55使遮挡板6围绕旋转轴线c1旋转。遮挡板6、遮挡板支撑部件53、遮挡板升降驱动单元54及遮挡板旋转驱动单元55被收纳于收纳空间a内。遮挡板6包含在收纳空间a内的可升降的升降部件内。遮挡板升降驱动单元54包含在驱动作为升降部件的驱动遮挡板6升降的升降驱动单元。

遮挡板旋转驱动单元55包含内置于遮挡板支撑部件53的前端的电动马达。电动马达与遮挡板支撑部件53内部配置的多个配线56连接在一起。多个配线56包括为该电动马达输送电的电线和检测遮挡板6旋转情况的编码器线。根据检测得到的遮挡板6的旋转信息，准确控制遮挡板6的旋转信息。

下面针对保护件升降驱动单元67～69的构造进行说明。下面的部分除去有特殊说明的情况，由于多个保护件升降驱动单元67～69的构造相同，省略关于第1保护件升降驱动单元67和第2保护件升降驱动单元68的构成相关的详细说明。

图3是第3保护件升降驱动单元的69周边的放大剖面图。在图3中第1保护件64和第1保护件升降驱动单元67的一部分用虚线表示。在图3中，第2保护件65和第2保护件升降驱动单元68的一部分用一点划线表示。图4是第3保护件升降驱动单元的69周边的立体图。图5是沿图4的v-v面的剖面示意图。图6是沿着图1的vi-vi线的剖面的示意图。

第3保护件升降驱动单元的69包括第1驱动源81和第1升降头82，该第1升降头82在第3保护件66的侧方，由该第1驱动源81驱动在预设的可移动范围e内与第3保护件66一起上下移动。第1驱动源81包括在水平方向延伸的旋转轴81a。进一步地，第3保护件升降驱动单元69还包括第1旋转传递单元83，该第1旋转传递单元83通过将旋转轴81a的转动传送给第1升降头82从而使第1升降头82上下移动。进一步地，第3保护件升降驱动单元69还包括：第1引导单元86，该第1引导单元86引导第1升降头82上下移动；支架84，该支架84保持第1驱动源81和第1升降头82；连接部件85，该连接部件85将第1升降头82和第3保护件66连接。进一步地，第3保护件升降驱动单元69还包括第1限制单元88，该第1限制单元88将第1升降头82的上下移动限制在预设的可移动范围e内。

第1保护件升降驱动单元67的第1升降头82，配置在第1保护件64的侧方(参照图1)，通过连接部件85与第1保护件64相连。第1保护件升降驱动单元67的第1升降头82可以在预设的可移动范围e内与第1保护件64一起上下移动。

第2保护件升降驱动单元68的第1升降头82，配置在第2保护件65的侧方(参照图1)，通过连接部件85与第2保护件65相连。第2保护件升降驱动单元68的第1升降头82可以在预设的可移动范围e内与第2保护件65一起上下移动。

支架84包括在水平方向延伸的底板84a、从底板84a的上表面朝上方延伸的第1侧板84b、和从底板84a的上表面向上方延伸并与第1侧板84b相连的侧板84c。

支架84在插入底板30上形成的贯通孔的状态下被固定在底板30。第2侧板84c与第1固定部84d相连，该第1固定部84d朝与底板84a侧的相反侧水平地突出。底板84a与第2固定部84e通过台阶连接，该第2固定部84e位于底板84a的上方。第1固定部84d及第2固定部84e中分别插入螺栓84f。基于此，支架84被固定于底板30。

支架84设置为其整体至少是位于在腔体3的脚部31的下端位置的上方。底板84a设置为其上表面位于底板30的下表面30b的上方。

第1驱动源81收纳于腔体3的收纳空间a内。第1驱动源81设置在底板30的下表面30b的上方。

进一步地，第1驱动源81还包括驱动马达81b，该驱动马达81b作为使在水平方向延伸的旋转轴81a旋转的旋转动力源。驱动马达81b具有大致长方体的马达外壳。第1驱动源81也可以包括：减速机(图中未示出)，该减速机用来对由驱动马达81b驱动的旋转轴81a的旋转进行减速；编码器(图中未示出)，该编码器用于检测驱动马达81b的旋转信息。

第1驱动源81的旋转轴81a由驱动马达81b支撑。旋转轴81a插入到第1侧板84b上设计的插通孔中。旋转轴81a的前端处于底板84a的上方。驱动马达81b例如可以由多个螺钉固定在第1侧板84b上，使其较长的方向(也就是旋转轴81a延伸的方向)朝水平方向。由此，驱动马达81b的整体位于底板30的下表面30b的上方。

第1引导单元86包括固定在腔体3内的第1导向部件87。具体而言，第1导向部件87固定在支架84的第2侧板84c的上端部分，该支架84固定于腔体3内的底板30。如图5所示，第1导向部件87中形成凹部87a，该凹部87a是从第2侧板84c侧相反的一侧将第1导向部件87切出一个缺口形成的。隔开凹部87a的相互对向的对向面87b上分别形成在上下方向z上延伸的凸肋87c。

在本实施方式下，第1升降头82为在上下方向z上延伸的四角柱状。第1升降头82以能滑动的方式和固定于第2侧板84c的第1导向部件87凹凸卡合，并且经由第1导向部件87被支撑在支架84。具体而言，第1升降头82嵌合在凹部87a中。再者，在第1升降头82与第1导向部件87的对向面87b相对的面上，分别形成在上下方向z延伸的凹沟82a。一对凹沟82a分别与一对凸肋87c分别卡合在一起。由此，由第1导向部件87引导第1升降头82的上下移动。如上所述，第1导向部件87的功能是作为直线定位块，第1升降头82的功能是直线导轨。与本实施方式不同，也可以是，在第1导向部件87上形成凹沟，而在第1升降头82上形成凸部。由此，第1升降头82以可滑动的方式与第1导向部件87凹凸卡合。

连接部件85通过螺钉等固定在第1升降头82的上端。连接部件85从下方与排气桶60的盖部60c相对。

第1旋转传递单元83包括：多个齿条83a，该齿条83a形成在第1升降头82上；多个齿轮83b，该齿轮83b传递旋转轴81a的旋转且与齿条83a相啮合。在第1升降头82上，多个齿条83a上下排布在与第2侧板84c一侧的面相反侧的面内。各齿条83a具有在大致水平方向延伸的齿筋。多个齿轮83b形成在旋转轴81a的前端。多个齿轮83b排布在旋转轴81a的圆周方向上。齿轮83b从第2侧板84c的相反侧与齿条83a相对。齿轮83b在上下方向z的位置上至少有一部分与第1导向部件87重合。在齿轮83b在与齿条83a相啮合的可能的状态下，可以被外壳83c覆盖，该外壳83c固定于支架84(参照图4)。

第1限制单元88包括底板84a和盖部60c，该底板84a作为下端位置限制部件，限定第1升降头82的可移动范围e的下端位置，该盖部60c作为上端位置限制部件，限定第1升降头82的可移动范围e的上端位置。第1升降头82的可移动范围e的下端位置，是第1升降头82下降至其下端与底板84a抵接时的第1升降头82的下端位置(图3的纸面下侧用双点划线表示的位置)。第1升降头82的可移动范围e的上端位置，是当第1升降头82上升至其上端连接的连接部件85与排气桶60的盖部60c抵接时的第1升降头82的上端位置(图3上侧用双点划线表示的位置)。

作为下端位置限制部件的底板84a的上表面，其位于底板30的下表面30b的上方。由此，第1升降头82的可移动范围e的下端位置位于底板30的下表面30b的上方。因此，第1升降头82的可移动范围e的整体位于底板30的下表面30b的上方。第1驱动源81不是和第1升降头82在上下方向z上并排配置，而是整体配置在第1升降头82的可移动范围e的侧方。

下面，针对保护件升降驱动单元67～69的运转进行说明。

第1驱动源81的驱动马达81b使旋转轴81a旋转后，随之旋转轴81a的前端的齿轮83b旋转。齿轮83b的旋转通过齿条83a传送给第1升降头82，从而转换成第1升降头82在上下方向z的直线运动。由此使得第1升降头82上下移动。如上所述，齿条83a及齿轮83b也是运动转换单元，其将旋转轴81a的旋转转换成第1升降头82的上下移动。第1升降头82的上下移动由第1引导单元86的第1导向部件87来引导。

对于第3保护件升降驱动单元69，第3保护件66配合着第1升降头82的上下移动而升降。对于第3保护件升降驱动单元69，第1驱动源81的驱动马达81b使旋转轴81a停止旋转，随之使与齿轮83b相啮合的齿条83a停止上下移动。基于此，停止第3保护件66的升降。

同样地，对于第1保护件升降驱动单元67，第1保护件64配合着第1升降头82的上下移动而升降。对于第1保护件升降驱动单元67，第1驱动源81的驱动马达81b使旋转轴81a停止旋转，随之使与齿轮83b相啮合的齿条83a停止上下移动。基于此，停止第1保护件64的升降。

同样地，对于第2保护件升降驱动单元68，第2保护件65配合着第1升降头82的上下移动而升降。对于第2保护件升降驱动单元68，第1驱动源81的驱动马达81b使旋转轴81a停止旋转，随之使与齿轮83b相啮合的齿条83a停止上下移动。基于此，停止第2保护件65的升降。

参照图6所示，处理单元2包括第1隔离部件70，该第1隔离部件收纳了多个保护件升降驱动单元67～69，并且将多个保护件升降驱动单元67～69从腔体3内部的收纳空间a的环境中隔离开。第1隔离部件70包括：外壳73，该外壳73固定在底板30的上表面30a；多个可上下伸缩的波纹管74，该波纹管74设置在外壳73与各保护件升降驱动单元67～69的连接部件85之间。

外壳73中收纳了多个保护件升降驱动单元67～69的第1驱动源81和第1升降头82的下侧部分。

波纹管74可以用特氟龙(注册商标名)制作。多个波纹管74分别收纳多个第1升降头82的上侧部分。当多个连接部件85配合多个第1升降头82的上下移动而上下移动时，多个波纹管74也分别在上下方向z上进行伸缩。

基于上述构造，第1～第3保护件升降驱动单元67～69驱动第1～第3保护件64～66的升降。对于第1～第3保护件升降驱动单元67～69，即使在第1升降头82位于可移动范围e的最下方的位置的情况下，第1驱动源81及第1升降头82也要设置在底板30的下表面30b的上方。因此，相比于第1驱动源81及第1升降头82设置在底板30的下表面30b的下方的构造，可以限制处理单元2在上下方向z的尺寸。基于此，能将多个处理单元2在上下方向z上靠近配置。从而，能限制基板处理系统1整体在上下方向z的尺寸，也能增加在基板处理系统1内可搭载的处理单元2的数量。

再者，第1驱动源81被收纳于腔体3的容纳空间a。因此，能限制处理单元2在上下方向z及水平方向的尺寸。

再者，第1驱动源81的整体设置在第1升降头82的可移动范围e的侧方。由此，通过将第1驱动源81和第1升降头82在水平方向上并排配置，能限制第1～第3升降驱动单元67～69在上下方向z上的尺寸。因此，能进一步限制处理单元2在上下方向z的尺寸。

再者，通过将在水平方向延伸的旋转轴81a的旋转传递给第1升降头82，能使第1升降头82上下移动。由此，即使使用在旋转轴81a的轴方向上是其较长方向的第1驱动源81，也能得到限制第1～第3升降驱动单元67～69在上下方向z上的尺寸。

再者，通过具有相互啮合的齿条83a和齿轮83b的简单构造，能将设置在第1升降头82的侧方的旋转轴81a的旋转传递给第1升降头82。因此，很容易将第1驱动源81的整体配置在第1升降头82的可移动范围e的侧方。基于此，能进一步限制第1～第3升降驱动单元67～69在上下方向z的尺寸。

再者，通过第1引导单元86引导第1升降头82的上下移动。因此，能使第1升降头82准确并平稳地上下移动。从而，能缩短第1升降头82与其他部件(支架84、第1驱动源81等)之间的距离。

再者，通过采用使第1升降头82和第1导向部件87凹凸卡合的简单构造，能引导第1升降头82的上下移动。因此，能进一步限制第1～第3升降驱动单元67～69在上下方向z的尺寸。

再者，第1隔离部件70将第1～第3升降驱动单元67～69从腔体3的收纳空间a内的环境中隔离出来。因此，不论收纳空间a内的环境中飞散入何种数量和种类的物质，第1驱动源81及第1升降头82均能配置在底板30的下表面30b的上方。

再者，第1～第3升降驱动单元67～69被设置在喷嘴臂51的水平移动范围的正下方。因此，通过利用喷嘴51的下方的空间，能限制处理单元2在上下方向上的尺寸。

下面，针对遮挡板升降驱动单元54的构造进行详细的说明。

图7表示沿着图1的vii-vii线的剖面示意图。图8是沿着图7的viii-viii线的剖面示意图。

遮挡板升降驱动单元54包括第2驱动源91和第2升降头92，该第2升降头92设置在遮挡板6的侧方，并且在预设的可移动范围f内随着遮挡板6一起在第2驱动源91的驱动下做上下移动。第2驱动源91包含在上下方向延伸的旋转轴91a。进一步地，遮挡板升降驱动单元54还包括第2旋转传递单元93，该第2旋转传递单元93通过将旋转轴91a的旋转传递给第2升降头92，从而使第2升降头92上下移动。进一步地，遮挡板升降驱动单元54还包括：第2引导单元96，该第2引导单元96引导第2升降头92的上下移动；第1支架94，该第1支架94支撑第2驱动源91；第2支架95，该第2支架95支撑第2升降头92。进一步地，遮挡板升降驱动单元54还包括第2限制单元98，该第2限制单元98将第2升降头92的上下移动限制在预设的可移动范围f内。

第2驱动源91配置于收纳空间a。第2驱动源91配置在底板30的下表面30b的上方。进一步地，第2驱动源91还包括驱动马达91b，该驱动马达91b作为使在上下方向延伸的旋转轴91a旋转的旋转驱动源。驱动马达91b包括大致长方体的马达外壳。驱动马达91b以较长的方向朝向上下的方式固定于第1支架94，该第1支架94从底板30的上表面30a开始向上方延伸。第2驱动源91也可以包括：减速机(图中未示出)，该减速机用于对通过驱动马达91b使旋转轴91a的旋转进行减速；编码器(图中未示出)，该编码器用于检测驱动马达91b的旋转速度。

第2驱动源91的旋转轴91a由驱动马达91b支撑。旋转轴91a从驱动马达91b的下端向下方延伸。旋转轴91a的前端位于底板30的上方。

第2支架95从底板30的上表面30a向上方延伸，呈大致方筒状。第2支架95整体配置在底板30的下表面30b的上方。

第2引导单元96包含一对固定在第2支架95上的第2导向部件97。一对第2导向部件97分别呈板状，从第2支架95的上端向上方延伸。一对第2导向部件97相互对向。一对第2导向部件97上分别形成朝相互靠近方向突出的凸肋97a。凸肋97a为在上下方向z上延伸的筋状。

第2升降头92为在上下方向z上延伸的四方柱状，设置于第2驱动源91的侧方。第2升降头92具有凹部92a，该凹部92a是将第2升降头92从与第2驱动源91一侧的相反侧向第2驱动源91一侧切割形成的。第2升降头92具有下板部92b和上板部92c，下板部92b从下方隔开凹部92a，上板部92c，从上方隔开凹部92a。

第2升降头92与一对第2导向部件97以可滑动的方式凹凸卡合，该一对第2导向部件97固定于第2支架95。基于此，第2升降头92经由第2导向部件97被支撑在第2支架95上。具体而言，第2升降头92包含一对卡合部件99，该一对卡合部件99卡合在第2升降头92的第2驱动源91一侧的面的两侧方的面上，并且与第2导向部件97卡合。在各卡合部件99上形成在上下方向z上延伸的凹沟99a。一对凹沟99a分别与凸肋97a卡合。与本实方式不同，也可以是在卡合部件99上形成凸部，而在第2导向部件97上形成凹沟。基于此，第2升降头92和第2导向部件97以可滑动方式凹凸卡合。

第2旋转传递单元93包括：在上下方向延伸的螺纹轴93a；传递带93b，该传递带93b将旋转轴91a的旋转传递给螺纹轴93a；螺母93c，该螺母93c固定在第2升降头92上、且与螺纹轴93a相螺合。

例如，螺纹轴93a经由轴承93d可转动式地被支撑在第2支架95上。螺纹轴93a插通在下板部92b上设计的插通孔，其前端位于第2升降头92的凹部92a的内部。传递带93b套在旋转轴91a的下端和滑轮93e上，该滑轮93e安装在螺纹轴93a的下端。螺母93c被收纳在凹部92a的内部，通过螺栓等固定于下板部92b。

第2限制单元98包括：被抵接部件98a，该被抵接部件98a固定于腔体3；第1抵接部件98b，该第1抵接部件98b固定于第2升降头92、从上方与被抵接部件98a相对；第2抵接部件98c，该第2抵接部件98c固定于第2升降头92、且从下方与被抵接部件98a相对。例如，被抵接部件98a固定在第2支架95的上端。

第2升降头92的可移动范围f的下端位置，是当被抵接部件98a与第1抵接部件98b抵接时，第2升降头92的下端的位置(参照图7中双点划线表示的第2升降头92)。第2升降头92的可移动范围f的上端位置，是当被抵接部件98a与第2抵接部件98c抵接时，第2升降头92的上端的位置(参照图7中实线表示的第2升降头92)。第2驱动源91没有与第2升降头92在上下方向z并排配置，而是整体配置在第2升降头92的可移动范围f的侧方。

下面，针对遮挡板升降驱动单元54的运转进行说明。

第2驱动源91的驱动马达91b使旋转轴91a旋转，随之传递带93b在旋转轴91a及滑轮93e的周边旋转，并通过滑轮93e使螺纹轴93a旋转。旋转轴91a的旋转转换成第2升降头92在上下方向z的直线运动，该第2升降头92由与螺纹轴93a螺合的螺母93c固定。基于此，第2升降头92上下移动。第2升降头92与一对第2导向部件97以可滑动方式凹凸卡合，因此，第2升降头92不旋转，而是经由一对第2导向部件97在上下方向z引导。

第2驱动源91的驱动马达91b使旋转轴91a停止旋转后，随之由于与螺纹轴93a螺合的螺母93c的上下移动被停止，因此遮挡板6(参照图2)的升降移动被停止。

进一步地，処理单元2还包括第2隔离部件75，该第2隔离部件75收纳了遮挡板升降驱动单元54，并将遮挡板升降驱动单元54从腔体3的收纳空间a内的环境中隔离出来。第2隔离部件75包括：壳体76，该壳体76固定于底板30的上表面30a；波纹管77，该波纹管77设计在壳体76和遮挡板支撑部件53之间、能上下伸缩。

壳体76收纳了第2驱动源91和第2升降头92的下侧部分。例如，波纹管77由特氟龙(注册商标)制作。波纹管77收纳了第2升降头92的上侧部分。波纹管77配合第2升降头92的上下移动，在遮挡板支撑部件53上下移动时，在上下方向z上进行伸缩。

处理单元2包括：多个配线78，该配线78为螺旋状能上下伸缩、通过多个配线56电性连接于遮挡板6；配线导向件79，该配线导向件79和遮挡板6一起升降，并引导多个配线78的伸缩。多个配线78及配线导向件79被收纳在波纹管77内。多个配线78与配线56以同等数量设计。每根配线78上分别连接在一根配线56。多个配线78作为一个整体形成在上下方向z上延伸的筒状。多个配线78隔开在上下方向z上延伸的圆筒状的空间78a。配线导向件79是从遮挡板支撑部件53向下方延伸的轴状。配线导向件79穿插进入由螺旋状的多个配线隔开形成的圆筒状的空间78a。

遮挡板6随第2升降头92一起下降时，螺旋状的配线78在向空间78a下降的配线导向件79的导向下，在上下方向z上缩短节距，从而在上下方向z上收缩。相反，遮挡板6随第2升降头92一起上升时，螺旋状的配线78，在向空间78a上升的配线导向件79的导向下，在上下方向z上节距增大从而在上下方向z上伸长。

基于上述构造，遮挡板升降驱动单元54驱动遮挡板6的升降。对于遮挡板升降驱动单元54，第2升降头92即使位于可移动范围f的最下方的位置的情况下，第2驱动源91及第2升降头92也配置在底板30的下表面30b的上方。因此，相比于第2驱动源91及第2升降头92配置在底板30的下表面30b的下方的构造，能限制处理单元2在上下方向z的尺寸。基于此，多个处理单元2在上下方向z能近距离配置。因此，能限制基本处理系统1在上下方向z上的整体的尺寸，同时也能增加基本处理系统1内能搭载的处理单元2的数量。

再者，第2驱动源91被收纳于腔体3的收纳空间a内。因此，能限制处理单元2在上下方向z和水平方向上的尺寸。

再者，第2驱动源91的整体设置在第2升降头92的可移动范围f的侧方。因此，通过第2驱动源91和第2升降头92在水平方向上的并列配置，能限制遮挡板升降驱动单元54在上下方向z的尺寸。由此，能进一步限制处理单元2在上下方向z的尺寸。

再者，基于将在上下方向上延伸的旋转轴91a的旋转传递给第2升降头92，能使第2升降头92上下移动。因此，在将旋转轴91a的轴方向朝向上下方向从而配置第2驱动源91的同时，能限制遮挡板升降驱动单元54在上下方向z上的尺寸。

再者，经由包含螺纹轴93a和与其螺合的螺母93c的简单的构造的第2旋转传递单元93，能将旋转轴91a的旋转传递给第2升降头92。因此，能进一步限制遮挡板升降驱动单元54在上下方向z的尺寸。

再者，经由第2引导单元96引导第2升降头92的上下移动。因此，能使第2升降头92准确且平稳地上下移动。从而，能缩短第2升降头92与其他部件之间的距离(第2驱动源91、第2支架95等)。

再者，由于第2升降头92和第2导向部件97采用凹凸卡合的简单构造，能引导第2升降头92的上下移动。因此，能进一步限制遮挡板升降驱动单元54在上下方向z的尺寸。

再者，由第2隔离部件75将遮挡板升降驱动单元54从腔体3内的收纳空间a的环境中隔离出来。因此，不论腔体3的收纳空间a内的环境中飞散的何种种类和数量的物质，第2驱动源91及第2升降头92能配置在底板30的下表面30b的上方。

再者，螺旋状的配线78连接于遮挡板6并且能上下伸缩。因此，螺旋状的配线78在上下方向z的尺寸，配合遮挡板6的升降进行调整。因此，与在遮挡板6升降过程中，通过使没有上下伸缩的、向下方垂吊着的u字状的部分上下移动来调整在上下方向z的尺寸的配线(非螺旋状的配线)相比较，采用配线78能减小在上下方向z所必须的空间。

由于配线导向件79能引导螺旋状的配线78的伸缩，因此，能够防止螺旋状的配线78倒塌或者配线78的一部分在水平方向上挤出的情况。由此，能够防止由配线78与波纹管77接触引起的波纹管77的损伤。换言之，不必要因配线78的伸缩而确保在波纹管77内有很大的空间。因此，能缩小波纹管77，进而不会压迫腔体3内的容纳空间，能将遮挡板升降驱动单元54及配线78配置在腔体3内部。

再者，遮挡板升降驱动单元54设置在喷嘴臂51的水平移动范围的正下方。因此，能利用喷嘴臂51的下方的空间，从而限制基板处理系统1在上下方向z的尺寸。

本发明不限于以上说明的实施方式，能进一步地以其他方式来实施。

例如，遮挡板升降驱动单元54，也可以具有与保护件升降驱动单元67～69相同的构造。即可以是如下构造：遮挡板升降驱动单元54的第2驱动源91包含使在水平方向上延伸的旋转轴91a旋转的驱动马达91b；遮挡板升降驱动单元54的第2旋转传递单元93包含多个齿条和多个齿轮，该多个齿条形成于第2升降头92、上下排布，该多个齿轮设置在旋转轴91a的前端、与所述齿条相互啮合。

相反的，也可以是如下构造：保护件升降驱动单元67～69的第1驱动源81包含使在上下方向上延伸的旋转轴81a旋转的驱动马达81b；保护件升降驱动单元67～69的第1旋转传递单元83包含螺纹轴和螺母，该螺纹轴传递旋转轴81a的旋转并且在上下方向上延伸，该螺母固定于第1升降头82、且与该螺纹轴螺合。

再者，关于本实施方式的保护件升降驱动单元67～69，对支架84的底板84a的一部分处于底板30的下表面30b的下方的情况进行了说明。但是，保护件升降驱动单元67～69的整体也可以位于底板30的下表面30b的上方的位置，或者其整体也可以被收纳于收纳空间a。进一步地，关于保护件升降驱动单元67～69的实施方式，只要是至少第1驱动源81和第1升降头82的可移动范围e配置在底板30的下表面30b的上方即可，第1驱动源81也可以不是收纳在收纳空间a，而是配置在腔体3的侧方。

再者，本实施方式的遮挡板升降驱动单元54，以其整体被收纳在收纳空间a内的情况进行了说明。但是，遮挡板升降驱动单元54的整体也有可能不是收纳在收容空间a的情况。即也可以是如下的实施方式，只要是将第2驱动源91和第2升降头92的可移动范围f设置在底板30的下表面30b的上方即可，第2驱动源91可以不收纳在收纳空间a，而是配置在腔体3的侧方。另外，第1支架94、第2支架95的一部分也可以位于底板30的下表面30b的下方。

再者，升降驱动单元不限于是驱动保护件64～66或者遮挡板6的升降，能适用于杯61、62、或喷嘴41、42、43等的在腔体3的收纳空间a内升降的所有部件。

以上对本发明的实施方式进行了详细的说明，但是这些仅是为了明确本发明的技术内容而采用的具体实例，不应该限于这些具体实例来解释本发明，本发明的保护范围仅仅由所附的权利要求书限定。

该申请对应于2016年2月12日向日本特许厅提出的申请号为特愿2016-024955号的专利申请，该申请的全部公开内容通过引用援用于此。