基板处理装置的制作方法

文档序号:11477448阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种基板处理装置,其包括:腔体、基板保持单元、升降部件和升降驱动单元。腔体具有底板,该底板具有隔开收纳空间的上表面。基板保持单元被收纳于收纳空间并且载放于底板的上表面,并且用于保持基板。升降部件在收纳空间内升降。升降驱动单元驱动升降部件的升降。升降驱动单元包括:驱动源,该驱动源配置在底板的下表面的上方;升降头,该升降头连接保护件,并在整体位于底板的下表面的上方的可移动范围内,所述驱动源使该升降头上下移动。

技术研发人员:桥本光治
受保护的技术使用者:株式会社斯库林集团
技术研发日:2017.02.09
技术公布日:2017.08.22
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