技术特征：
技术总结
本发明提供一种基板处理装置，其包括：腔体、基板保持单元、升降部件和升降驱动单元。腔体具有底板，该底板具有隔开收纳空间的上表面。基板保持单元被收纳于收纳空间并且载放于底板的上表面，并且用于保持基板。升降部件在收纳空间内升降。升降驱动单元驱动升降部件的升降。升降驱动单元包括：驱动源，该驱动源配置在底板的下表面的上方；升降头，该升降头连接保护件，并在整体位于底板的下表面的上方的可移动范围内，所述驱动源使该升降头上下移动。
技术研发人员：桥本光治
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2017.02.09
技术公布日：2017.08.22