一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法与流程

文档序号:12479136阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:包括以下步骤:

a.沉淀粘附层:在晶圆背面沉淀粘附层(7);

b.贴膜:将晶圆正面朝上,背面粘附上白膜;

c.隐形切割:对贴膜后的晶圆进行隐形切割;

d.翻转:将隐形切割后晶翻转在另一张白膜上,在将晶圆所在区域,连同白膜一起剪下;

e.背镀金属反射层:在晶圆背面沉淀粘附层(7)上镀一层金属反射层(8);

f.裂片:将晶圆裂片成单一的LED芯片。

2.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤a中,通过PECVD技术在晶圆的背面蓝宝石衬底(6)上沉淀粘附层(7)。

3.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤a中,粘附层(7)为SiO2粘附层或者Si3N4粘附层。

4.根据权利要求5所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤a中,粘附层(7)厚度为10~230nm。

5.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤c中,隐形切割中,激光脉冲频率为20~120Hz,划片速度为40~200mm/s。

6.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤e中,金属反射层(8)为Al反射层或者Ag反射层,金属反射层(8)厚度为100~500nm。

7.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:所述步骤a之前,还有步骤a1,抛光,通过化学抛光的方法对厚度为40~200μm的晶圆进行抛光,降低晶圆背面粗糙度。

8.根据权利要求1所述的一种隐形切割和背镀LED芯片的制作方法,其特征在于:制得的LED芯片包括蓝宝石衬底(6),位于蓝宝石衬底(6)下方的沉淀粘附层(7),位于沉淀粘附层(7)下方的金属反射层(8),位于蓝宝石衬底(6)上方的 P-GaN层(1)、P-Pad层(2)、N-GaN层(3)和N-Pad层(4),其中P-GaN层(1)和N-GaN层(3)之间设有量子阱(9),蓝宝石衬底(6)中经过隐形切割后存在激光灼烧点(5)。

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