技术特征：
技术总结
一种等离子体处理方法，在对保持在运输载体的基板进行等离子体处理时，使产品的成品率提高。保持在运输载体的基板的等离子体处理方法包括：准备工序，准备运输载体，所述运输载体具备保持片和配置在该保持片的外周部的框架；基板保持工序，将基板粘接到保持片，使运输载体保持基板；以及张力增加工序，使保持片的张力增加。还包括：载置工序，在基板保持工序之后，将所述运输载体载置在所述载置台，使基板隔着所述保持片与所述载置台接触；以及等离子体处理工序，在该载置工序之后，对基板实施等离子体处理。此外，张力增加工序包括使保持片收缩的收缩步骤，收缩步骤在准备工序与等离子体处理工序之间进行。
技术研发人员：置田尚吾;针贝笃史
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：2017.02.20
技术公布日：2017.09.12