1.一种图案化目标膜层的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在衬底基板上形成图案化的光刻胶层,其中,所述光刻胶层的图案为与所述目标膜层的图案互补的图案;
在所述光刻胶层上形成目标层薄膜;
去除图案化的所述光刻胶层,并同时去除与所述光刻胶层的图案相对应区域的目标层薄膜,形成目标膜层的图案。
2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述目标膜层为薄膜晶体管的源漏极膜层和/或栅极膜层;
所述在所述光刻胶层上形成目标层薄膜,具体包括:在所述光刻胶层上形成至少一层金属层薄膜。
3.如权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述在所述光刻胶层上形成至少一层金属层薄膜,具体包括:
在所述光刻胶层上依次形成银薄膜和铜薄膜。
4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,在所述光刻胶层上依次形成银薄膜和铜薄膜,具体包括:
通过银镜反应,在所述光刻胶层上形成银薄膜;
通过铜镜反应,在所述银薄膜上形成铜薄膜。
5.如权利要求1-4任一项所述的制作方法,其特征在于,所述去除图案化的所述光刻胶层,并同时去除与所述光刻胶层的图案相对应的区域的目标层薄膜,形成目标膜层的图案,具体包括:
采用丙酮溶液或无水乙醇溶液对所述光刻胶层进行剥离,以去除图案化的所述光刻胶层,并同时去除与所述光刻胶层的图案相对应的区域的目标层薄膜,形成目标膜层的图案。
6.一种薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,包括:形成栅极、有源层、源漏极的图形;
其中,采用如权利要求2-5任一项所述的制作方法形成所述栅极和/或源漏极的图形。
7.一种图案化的目标膜层,其特征在于,采用如权利要求1-5任一项所述的制作方法制作。
8.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括如权利要求7所述的目标膜层,所述目标膜层为源漏极和/或栅极。
9.一种阵列基板,其特征在于,包括如权利要求8所述的薄膜晶体管。
10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求9所述的阵列基板。