技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件，其自下而上包括：肖特基漏极(11)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和栅极(10)；两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，势垒层上的两侧淀积有两个源极(9)，源极下方有注入区(8)，除肖特基漏极底部以外的所有区域完全覆盖有钝化层(14)；本发明器件的特征在于：两侧的钝化层内下部制作有浮空漏场板(12)，上部制作有浮空源场板(13)，电流阻挡层采用二级阶梯结构。具有击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高的优点，可用于电力电子系统。
技术研发人员：毛维;石朋毫;杜鸣;郝跃;张进成
受保护的技术使用者：西安电子科技大学
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.09.15