一种发光二极管及其制作方法与流程

文档序号:12725784阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种发光二极管的制作方法,其特征在于,包括:

提供衬底;

在所述衬底上设置缓冲层;

在所述缓冲层上设置N型半导体层;

在所述N型半导体层上设置发光层;

在所述发光层上设置P型半导体层;

在所述P型半导体层上形成透明导电层,在所述透明导电层上形成第一光刻胶,对所述透明导电层进行图案化,保留所述第一光刻胶对所述P型半导体层、发光层、N型半导体层进行部分刻蚀,形成台面;

在所述台面和所述透明导电层上形成保护层;

在所述保护层上形成第二光刻胶,对所述保护层进行刻蚀,裸露出部分N型半导体层和部分透明导电层,并对裸露的部分透明导电层进行刻蚀形成开孔;

在所述开孔上形成P电极,在裸露的N型半导体层上形成N电极,所述P电极的高度高于所述保护层。

2.根据权利要求1所述的发光二极管的制作方法,其特征在于,在所述P型半导体层上形成透明导电层,在所述透明导电层上形成第一光刻胶,对所述透明导电层进行图案化,保留所述第一光刻胶对所述P型半导体层、发光层、N型半导体层进行部分刻蚀,形成台面之后,还包括:

对所述透明导电层进行清洗,并清除剩余的第一光刻胶。

3.根据权利要求2所述的发光二极管的制作方法,其特征在于,采用湿法腐蚀对所述透明导电层进行图案化;

采用电感耦合等离子体对所述P型半导体层、发光层、N型半导体层进行部分刻蚀,形成台面。

4.根据权利要求1所述的发光二极管的制作方法,其特征在于,所述对所述保护层进行刻蚀,裸露部分N型半导体层和部分透明导电层,并对裸露的部分透明导电层进行刻蚀形成开孔,包括:

在所述保护层上形成第二光刻胶;

对所述保护层进行光刻,裸露出部分N型半导体层和部分透明导电层;

调整光刻的线宽至预设范围宽度对裸露的部分透明导电层进行刻蚀,形成预设范围宽度的开孔;

除去所述第二光刻胶并对所述开孔进行清洗。

5.根据权利要求4所述的发光二极管的制作方法,其特征在于,所述预设范围宽度为0.5μm至4μm。

6.根据权利要求1所述的发光二极管的制作方法,其特征在于,通过蒸发台或溅射镀膜法形成所述P电极和N电极。

7.一种发光二极管,其特征在于,包括

衬底;

设置在所述衬底上的缓冲层,;

设置在所述缓冲层上的N型半导体层;

设置在所述N型半导体层上的发光层;

设置在所述发光层上的P型半导体层;

设置在所述P型半导体层上并经过图案化的透明导电层;

对所述P型半导体层、发光层、N型半导体层进行部分刻蚀形成的台面;

设置在所述台面和所述透明导电层上的保护层,对所述保护层进行刻蚀裸露出部分N型半导体层和部分透明导电层,对裸露部分透明导电层进行刻蚀形成开孔;

在所述开孔上形成的P电极,所述P电极的高度高于所述保护层;

在裸露的N型半导体层上形成的N电极。

8.根据权利要求7所述的发光二极管,其特征在于,所述透明导电层为氧化铟锡薄膜。

9.根据权利要求7所述的发光二极管,其特征在于,所述保护层为二氧化硅薄膜。

10.根据权利要求7所述的发光二极管,其特征在于,所述开孔的宽度为0.5μm至4μm。

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