技术特征:
技术总结
本发明涉及一种晶体管面板。所述晶体管面板包括:沟道区,包括第一金属的氧化物;源极区和漏极区,各自包括第一金属,其中沟道区设置在源极区与漏极区之间,并且其中沟道区连接到源极区和漏极区;绝缘层,设置在沟道区上;上电极,设置在绝缘层上;层间绝缘层,设置在上电极、源极区和漏极区上;以及阻挡层,包括设置在层间绝缘层与源极区和漏极区中的每个之间的第一部分,其中阻挡层的第一部分与源极区和漏极区中的每个接触。上电极和阻挡层各自包括第二金属。
技术研发人员:李光洙;梁伸赫;金斗铉;金志训
受保护的技术使用者:三星显示有限公司
技术研发日:2017.04.05
技术公布日:2017.11.10