硅片检测装置的制作方法

文档序号:12725124阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片检测装置,其特征在于:包括支架(1),所述支架(1)上设置有工作台(2),所述工作台(2)的上表面通过转轴(3)转动设置有平台(4),所述工作台(2)的下表面设置有用于驱动平台(4)转动的电机(5),所述平台(4)的上表面设置有左固定板(6)和右固定板(7),所述左固定板(6)和右固定板(7)的内侧面均设置有气囊(8),所述平台(4)的下表面设置有气泵(9),所述气泵(9)与气囊(8)连通。

2.根据权利要求1所述的硅片检测装置,其特征在于:所述平台(4)上设置有用于放置硅片(22)的横杆(10),所述横杆(10)的上表面为平面,所述横杆(10)位于左固定板(6)和右固定板(7)之间,所述横杆(10)的两侧分别设置有第一喷管(11)和第二喷管(12),所述左固定板(6)上的气囊(8)通过第一管道(13)与第一喷管(11)连通,所述右固定板(7)上的气囊(8)通过第二管道(14)与第二喷管(12)连通,所述第一管道(13)和第二管道(14)上均串联有限压阀(15)。

3.根据权利要求2所述的硅片检测装置,其特征在于:所述第一喷管(11)和第二喷管(12)的管壁上均开设有若干气孔(21),所述气孔(21)的轴线由下至上向横杆(10)方向倾斜。

4.根据权利要求2所述的硅片检测装置,其特征在于:所述气囊(8)上均连通有电磁球阀(16)。

5.根据权利要求1所述的硅片检测装置,其特征在于:所述气囊(8)的内侧均贴合有橡胶板(17)。

6.根据权利要求1所述的硅片检测装置,其特征在于:所述工作台(2)上设置有立柱(18),所述立柱(18)的顶端固定有顶板(19),所述顶板(19)上固定有照明灯(20)。

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