技术特征：
技术总结
本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示器，该薄膜晶体管的制作方法，包括：提供基板；在所述基板上形成栅极层、栅绝缘层和有源层；在所述有源层上沉积金属层，采用含氟气体对所述金属层进行等离子体处理，对处理后的金属层进行刻蚀处理，分别形成源极层和所述漏极层，所述源极层和所述漏极层分别为单层结构。本发明提供的薄膜晶体管及其制作方法，提高了源漏电极的抗氧化性，源极层和漏极层由传统的上下各有一层保护层的三层结构，得到简化，减小了源漏电极与沟道的接触电阻，并且源极层和漏极层经过等离子体轰击之后，表面粗糙度得以提高，可以增强源极层和漏极层与光刻胶之间的粘附力，防止光刻胶的剥离，提高工艺的良率。
技术研发人员：温钰
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2017.04.25
技术公布日：2017.07.04