掩膜板固定底板及掩模板固定装置的制作方法

文档序号:13074517阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种掩膜板固定底板及掩模板固定装置,属于掩模板固定技术领域。本发明的掩模板固定底板,所述掩模板固定底板包括用于固定掩模板的第一侧面,所述第一侧面包括凹面,且在所述凹面的周边区域设置有贯穿所述掩模板固定底板的真空吸附孔。由于本发明中的掩模板固定底板的凹面的周边区域设置有真空吸附孔,因此将掩模板放置在凹面上方,利用抽气装置通过真空吸附孔对凹面与掩模板之间的空间进行抽气,以使凹面与掩模板之间的负压将掩模板可以牢牢的吸附在掩模板固定底板上。可以看出的是,掩模板的替换,仅需要通过真空吸附孔的抽放气即可实现。

技术研发人员:王玉林;高昕伟
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2017.12.01
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