一种半导体激光器以及制作方法以及设备与流程

文档序号:12308405阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种半导体激光器以及制作方法以及设备,该半导体激光器包括:衬底;设置在衬底一侧的N面波导层;设置在衬底一侧且背离N面波导层的N面电极;设置在N面波导层一侧且背离衬底的发光区;设置在发光区一侧且背离N面波导层的P面波导层;设置在P面波导层一侧且背离发光区的P面盖层;设置在P面盖层一侧且背离P面波导层的P面电极;设置在P面盖层上且内嵌至P面电极中的电流阻挡层;其中,电流阻挡层将P面电极划分为多个电流注入区域,且电流注入区域的大小由P面电极的中间至两端逐步减小。该半导体激光器具备高输出功率以及高光束质量的特点。

技术研发人员:张建伟;宁永强;张星;贾鹏;秦莉;王立军
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2017.06.30
技术公布日:2017.10.27
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