一种芯片的转移方法与流程

文档序号:13558589阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种芯片的转移方法,包括以下步骤:在晶圆芯片的凸点背面沉积含有磁性材料的有机材料层;将导电杆接通正向电流,利用导电杆头部镀有的软磁材料与所述有机材料层相反的磁性,使导电杆与所述晶圆芯片吸附;将所述晶圆芯片倒装焊接后,将导电杆接通反向电流使导电杆与晶圆芯片脱离。本申请提供的芯片的转移方法可用于微型芯片的转移,解决了微型芯片由于尺寸小带来的转移困难的问题,提高了芯片的转移效率。

技术研发人员:崔成强;赖韬;杨斌;张昱
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2017.09.25
技术公布日:2018.01.26
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