一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置的制作方法

本实用新型是一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，属于加工设备技术领域。

背景技术：

扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。

现有技术公开了申请号为：201220302081.7的一种用于硼扩散工艺的石英炉门，包括石英门本体，所述石英门本体的内壁附着有一层在硼扩散高温条件下化学性能稳定、且热胀冷缩系数低于所述石英门体材料的热胀冷缩系数的保护膜；本实用新型中通过在石英门本体内壁上设置高温条件下稳定性比较强、且热胀冷缩系数小的保护膜，避免了硼玻璃与石英门本体内壁的直接接触，缓解了石英门本体内壁由于较大热胀冷缩现象产生的较大应力，对石英门的损坏，可以提高石英炉门的使用寿命，并且延长石英炉门的维护周期，降低了石英炉门的频繁检修损耗、节省人力、物力，相应提高了生产效率和太阳能电池片的生产质量，进而可以大大降低太阳能电池片生产成本。此外，本实用新型还提供了一种包括上述石英炉门的设备。但是其不足之处在于外部因素影响加工件掺杂元素，容易降低控制精准度。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，以解决外部因素影响加工件掺杂元素，容易降低控制精准度的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，其结构包括散热板、柜门、上盖板、密封圈、机杆、转动夹紧装置、连件、电控箱、显示屏、高温加工室、透明窗、加工头、底座、底脚座，所述散热板设在底座上，所述上盖板与密封圈相连接，所述机杆与转动夹紧装置相连接，所述转动夹紧装置由第一夹板、咬合座、第二夹件、转动固件、手柄、分离底板组成，所述第一夹板与咬合座相嵌合，所述咬合座与第二夹件相嵌合，所述第二夹件与转动固件相连接，所述转动固件与手柄相连接，所述分离底板与转动固件相连接，所述分离底板与连件相连接，所述电控箱上设有显示屏，所述底座与底脚座紧固连接。

进一步地，所述柜门设在高温加工室上腔上。

进一步地，所述密封圈与机杆相连接。

进一步地，所述连件与电控箱相连接。

进一步地，所述高温加工室上设有透明窗。

进一步地，所述透明窗内部设有加工头。

进一步地，所述第一夹板与第二夹件端面相触，与咬合座相嵌合。

进一步地，所述连件直径管面上形状与咬合座、夹件形状相对应。

本实用新型的有益效果为设有转动夹紧装置，能够通过咬合座与夹板夹紧连件，利用手柄的转动特性，提高灵活性，方便作业中随时查看显示器数据，提高控制精准度。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置的结构示意图；

图2为本实用新型的转动夹紧装置示意图。

图中：散热板-1、柜门-2、上盖板-3、密封圈-4、机杆-5、转动夹紧装置-6、第一夹板-601、咬合座-602、第二夹件-603、转动固件-604、手柄-605、分离底板-606、连件-7、电控箱-8、显示屏-9、高温加工室-10、透明窗-11、加工头-12、底座-13、底脚座-14。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图2，本实用新型提供一种技术方案：一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，其结构包括散热板1、柜门2、上盖板3、密封圈4、机杆5、转动夹紧装置6、连件7、电控箱8、显示屏9、高温加工室10、透明窗11、加工头12、底座13、底脚座14，所述散热板1设在底座13上，所述上盖板3与密封圈4相连接，所述机杆5与转动夹紧装置6相连接，所述转动夹紧装置6由第一夹板601、咬合座602、第二夹件603、转动固件604、手柄605、分离底板606组成，所述第一夹板601与咬合座602相嵌合，所述咬合座602与第二夹件603相嵌合，所述第二夹件603与转动固件604相连接，所述转动固件604与手柄605相连接，所述分离底板606与转动固件604相连接，所述分离底板606与连件7相连接，所述电控箱8上设有显示屏9，所述底座13与底脚座14紧固连接，所述柜门2设在高温加工室10上腔上，所述密封圈4与机杆5相连接，所述连件7与电控箱8相连接，所述高温加工室10上设有透明窗11，所述透明窗11内部设有加工头12。

本专利所说的手柄605为转动手柄，采用锌合金制成，预埋在手柄里的螺丝为六角螺帽、全牙螺纹，来防止螺丝在手柄里360度旋转或是脱落。

当使用者想使用本实用新型的时候就可以通过咬合座602与第一夹板601、第二夹件603夹紧连件，第一夹板601与第二夹件603端面相触，与咬合座602相嵌合，连件7直径管面上形状与咬合座602、第一夹板601与第二夹件603形状相对应，利用手柄605的转动特性，使分离底板606与连件7底部连接转动，提高灵活性，方便作业中随时查看显示器数据，提高控制精准度。

本实用新型的散热板1、柜门2、上盖板3、密封圈4、机杆5、转动夹紧装置6、连件7、电控箱8、显示屏9、高温加工室10、透明窗11、加工头12、底座13、底脚座14，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是外部因素影响加工件掺杂元素，容易降低控制精准度，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以通过咬合座与夹板夹紧连件，利用手柄的转动特性，提高灵活性，方便作业中随时查看显示器数据，提高控制精准度。具体如下所述：

第一夹板601与咬合座602相嵌合，所述咬合座602与第二夹件603相嵌合，所述第二夹件603与转动固件604相连接，所述转动固件604与手柄605相连接，所述分离底板606与转动固件604相连接。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。