本实用新型涉及离子源技术领域，特别地，涉及一种离子源发生装置。
背景技术：
离子源是产生离子的地方,产生离子的方法有许多种,比如高压电离等，在离子注入机中常用的离子源是气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子对气体原子(或分子)发生撞击使其电离产生离子，并被引出成束，然而一些离子源设备结构繁琐，操作复杂，并且在离子源发生的过程中，离子或电子会撞击电弧室的侧壁产生粉尘碎屑，这些粉尘碎屑落到灯丝上会影响灯丝发射电子，从而影响离子的产生，导致离子生成量较少，降低了离子源发生设备的利用率。
技术实现要素：
本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服上述现有技术中存在的不足，现提供一种结构简单、更易于生产的离子源发生装置，使得离子源寿命延长，提高离子源发生设备的利用率。
本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种离子源发生装置，包括电弧套、两根灯丝、电弧环、外挡罩和内挡罩，所述外挡罩套设在所述电弧套的外部，所述内挡罩收容在所述电弧套的内部，两根所述灯丝设置在所述内挡罩的内部，所述电弧环搭接在两根所述灯丝上方，所述外挡罩与所述内挡罩均呈卷曲形成的筒状结构，且所述外挡罩与所述内挡罩均由弹性材料制成。
进一步地，所述外挡罩、所述内挡罩均由316不锈钢材料制成。
进一步地，所述外挡罩的内壁与所述电弧套的外壁相贴合，所述内挡罩的外壁与所述电弧套的内壁相贴合。
进一步地，所述电弧套的材质为石墨。
进一步地，每根所述灯丝的两端弯折设置，每根所述灯丝的中部设置成弧状结构，两根所述灯丝上的弧状结构相对设置。
进一步地，所述电弧环上设有两个相对设置的支架，所述支架搭接在所述灯丝的弧状结构上。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种离子源发生装置，在电弧套的内壁和外壁增加内挡罩和外挡罩，避免了电子或离子撞击在电弧套侧壁上产生的石墨粉尘碎屑对灯丝的干扰，延长了离子源发生装置的寿命，且提高离子源发生装置的利用率，结构简单、易于生产。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1为本实用新型的一种离子源发生装置的分解图。
图中：1、电弧套，2、灯丝，3、电弧环，31、支架，4、外挡罩，5、内挡罩。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
请参照图1所示，本实用新型提供了一种离子源发生装置，该离子源发生装置包括电弧套1、两根灯丝2、电弧环3、外挡罩4和内挡罩5，其中，外挡罩4套设于所述电弧套1的外部，内挡罩5收容于电弧套1的内部，灯丝2设置在内挡罩5内，电弧环3搭接在灯丝2上。
电弧套1大致呈两端具有开口的中空筒状结构，本实施方式中，电弧套1的材质为石墨，石墨材料能够起到隔热作用。
外挡罩4大致呈两端具有开口的中空筒状结构，外挡罩4套设在电弧套1的外部。本实施方式中，外挡罩4由平板卷曲而形成，且外挡罩4由弹性材料制成，使用时，直接掰开外挡罩4的两端，外挡罩4发生弹性变形，使外挡罩4能够套在电弧套1上，松开外挡罩4，外挡罩4复位，从而固定套设在电弧套1上。
内挡罩5大致呈两端具有开口的中空筒状结构，内挡罩5收容在电弧套1的内部。本实施方式中，内挡罩5由平板卷曲而形成，且内挡罩5由弹性材料制成，使用时，直接掰紧内挡罩5的两端，内挡罩5发生弹性变形，使内挡罩5能够绷紧在电弧套1上，松开内挡罩5，内挡罩5复位，从而固定收容在电弧套1上。
进一步地，外挡罩4的内壁与电弧套1的外壁相贴合，内挡罩5的外壁与电弧套1的内壁相贴合。图1中箭头所示方向为外挡罩4和内挡罩5的套设方向。
本实施方式中，外挡罩4和内挡罩5均用316不锈钢制成。可以理解地，在其他未示出的实施方式中，外挡罩4和内挡罩5还可以采用其他耐高温且具有弹性的材料制成。
灯丝2与电弧环3都设置在内挡罩5的内部，为了避免灯丝2或电弧环3出现短路现象，灯丝2与电弧环3均与内挡罩5隔离不接触的。
灯丝2的两端折弯设置，中部设置成弧状结构，两根灯丝2平行设置在电弧套1环内，中部弧状结构相对，用于加热放射出电子。
电弧环3上设有两个相对设置的支架31，两个支架31分别搭接在两根灯丝2的弧状结构上，通过电弧环3的反射作用，加剧电子对电弧套1内对特性气体的碰撞，从而产生更多的离子。
可以理解地，在其他未示出的实施方式中，电弧套1设置成长方体状、正方体状等规则形状，外挡罩4、内挡罩5也设置成与电弧套1尺寸相吻合的长方体状、正方体状等规则形状，同样可以达到本实用新型提供的离子源发生装置的使用效果。
下面结合图1说明本实用新型的一种离子源发生装置的应用过程：
本实用新型的一种离子源发生装置，使用时，将两根灯丝2的两端分别连接正负电极，灯丝2产生的电子将电弧套1内的惰性气体电离，电弧环3通过两个支架31搭接在两根灯丝2上，因此电弧环3也有一定的电压，具有发射电子的作用，加剧电子对电弧套1内惰性气体的碰撞，使得产生更多的离子，产生的电子或离子撞击到不锈钢材质的外挡罩4和内挡罩5上，避免了电子或离子撞击在电弧套1侧壁上产生的石墨粉尘碎屑对离子源的干扰，延长了离子源的寿命，提升了离子源发生装置的利用率。另外，由于外挡罩4的作用，避免了电弧套1的外侧壁上粉尘碎屑的脱落，进一步避免了粉尘碎屑对离子生成的影响。
本实用新型的一种离子源发生装置，在电弧套1内壁和外壁增加内挡罩5和外挡罩4，能够避免电子或离子撞击在电弧套1侧壁上产生石墨粉尘碎屑对灯丝2的干扰，延长了使用寿命，提高了离子源发生装置的利用率，且结构简单，易于生产。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本实用新型的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。