硅片承载器的制作方法

本实用新型涉及硅片加工生产领域，特别是涉及一种硅片承载器。

背景技术：

随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片被广泛应用到现代社会的各行各业。因此，硅片的需求量及生产加工量不断攀升，要求采用大规模流水线生产才能满足市场需求。与此相适应，随着集成电路制造工艺的不断进步，硅片生产、加工的自动化程度越来越高，需要许多与自动化、规模化生产相配套的辅助设备，例如用于放置在硅片清洗设备中、用来装载硅片以便完成硅片清洗的硅片承载器。

硅片承载器是在硅片加工过程中用来承载硅片的，硅片是由硅锭切割而成，此时的硅片带有很多杂质，需要进入清洗工艺，即把硅片放在硅片承载器内。由于硅片承载器的片间夹缝材料与硅片承载器材料一致，硬度较高，在插片时硅片与硅片承载器底部碰撞后对硅片造成影响，导致硅片出现亮边等异常。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是插片时硅片与硅片承载器底部碰撞容易造成异常，克服现有技术的缺点，提供一种硅片承载器，能够降低其对硅片的冲击。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种硅片承载器，包括承载器本体，承载器本体包括若干对称设置的插片槽，插片槽上下贯通，插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫，承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔，穿设孔设在插片槽的最低高度，承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮，缓冲垫的一端收卷在收放轮上，另一端依次穿过穿设孔并固定。

技术效果：本实用新型对硅片承载器底部存放硅片之间的夹缝进行改造，使用缓冲垫安装在硅片承载器的底部，使硅片插至插片槽底部时先触碰到缓冲垫，通过缓冲垫来缓冲插片时硅片受到的撞击，从而保证硅片的完好。此外，在硅片承载器使用一段时间后，缓冲垫或承载器本体上可能积存了一部分杂质，将缓冲垫卷在收放轮上便于收卷，在清洗承载器本体或缓冲垫时更方便。本实用新型大大降低了硅片的破损率，同时具有结构简单、使用和清理方便的优点。

本实用新型进一步限定的技术方案是：

进一步的，穿设孔处均设有紧固件，紧固件包括一对压片，两块压片的一端固定，另一端按扣可拆卸固定。

前所述的一种硅片承载器，收放轮内部设有自动回卷构件。

前所述的一种硅片承载器，缓冲垫采用聚氨酯胶条，缓冲垫的截面形状为三角形且其顶角部位与硅片接触。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型中，承载器本体上设置穿设孔、导向孔，使得缓冲垫安装在插片槽底部时更加平滑，能够与承载器本体契合更紧密，以保证其缓冲效果更好发挥；

（2）本实用新型中，缓冲垫通过一对带按扣的压片实现固定，结构简单、操作方便；

（3）本实用新型中，采用聚氨酯胶条作为缓冲垫，聚氨酯胶条是一种耐腐蚀、有韧性的材料，从而能够满足硅片承载器强酸或强碱的耐腐蚀使用环境；

（4）本实用新型中，采用聚偏二氟乙烯制作硅片承载器，聚偏二氟乙烯注射加工性能好，是一种流动性好、容易注射成型的树脂材料，其制成的硅片承载器机械性能、化学耐腐蚀性能及尺寸稳定性能良好，还具有性价比经济的优点。

附图说明

图1为实施例1的整体示意图；

图2为实施例1中缓冲垫的收卷端示意图；

图3为实施例1中缓冲垫的自由端示意图；

其中：1-承载器本体；2-插片槽；3-缓冲垫；4-穿设孔；5-收放轮；6-紧固件。

具体实施方式

本实施例提供的一种硅片承载器，结构如图1-3所示。

该硅片承载器包括承载器本体1，承载器本体1包括若干对称设置的插片槽2，插片槽2上下贯通。

插片槽2底部设有长条形的缓冲垫3，缓冲垫3采用聚氨酯胶条制成，缓冲垫3的截面形状为三角形且其顶角部位与硅片接触。承载器本体1位于同一侧插片槽2的两侧面对称设有长条形的穿设孔4，穿设孔4设在插片槽2的最低高度。

承载器本体1上靠近其中一个穿设孔4设有收放轮5，收放轮5内部设有自动回卷构件，该自动回卷构件与自动卷尺内部结构相同，具有自动回弹收卷功能。

缓冲垫3的一端收卷在收放轮5上，另一端依次穿过两个穿设孔4。穿设孔4处均设有紧固件6，紧固件6包括一对压片，两块压片的一端固定，另一端按扣可拆卸固定。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。