薄膜晶体管和阵列基板的制作方法

文档序号:13981959阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于显示技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管和阵列基板。该薄膜晶体管包括设置在衬底上方的栅极、有源层、源极和漏极,所述有源层位于中心区域,所述源极和所述漏极分别与所述有源层连接,所述栅极与所述有源层至少部分同层设置、且所述栅极与所述有源层至少两面相隔绝缘层相对设置。该薄膜晶体管的宽长比Weff/L增大,从而有效提高了器件的开态电流Ion,提高了氧化物薄膜晶体管电流驱动能力;另外,还考虑了电极对有源层的遮光效果,最大限度的减小了光照对器件VTH漂移的影响,提高了薄膜晶体管的负偏压光照稳定性。

技术研发人员:王国英;宋振;孙宏达
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
文档号码:201721082727
技术研发日:2017.08.28
技术公布日:2018.03.20

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