一种快速热退火机台的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种快速热退火机台。

背景技术：

快速热退火(rapid thermal annealing：RTA)是将工件加热到较高温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行快速冷却，目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态，获得良好的工艺性能和使用性能。

RTA在现代半导体产业有重要的应用。可以用极快的升温在目标温度(1000℃～1300℃)短暂持续，对硅片进行热处理；快速的升温过程和短暂的持续时间能够在晶格缺陷的修复、激活杂质和最小化杂质扩散三者之间取得优化，而且RTA还能减小瞬时增强扩散。相对于炉管退火，它具有热预算少，硅中杂质运动小，玷污小和加工时间短等特点。

RTA一般是在快速热退火机台中进行，现有的快速热退火机台一般包括1～3个退火腔室，而每个退火腔室有409根灯管，每根灯管的寿命约为两年，通常做法是在灯管寿命到期之前提前更换灯管，而安装新灯管的过程具体如图1所示：在安装灯管的过程中，由于灯筒内部不可见，无法准确地将灯管上的电连接插头组与灯筒上的过孔组对准，会给安装过程造成一定困难，不仅增加安装时间，降低安装效率，而且还会使灯管上的电连接插头组造成损坏。

鉴于此，有必要设计一种新的快速热退火机台用以解决上述技术问题。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种快速热退火机台，解决了现有快速热退火机台在更换灯管过程中，存在安装时间长，安装效率低，及会对灯管造成损坏的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种快速热退火机台，所述快速热退火机台包括：

机台本体；

设于所述机台本体内的退火腔室；

安装于所述退火腔室内的灯管底座，所述灯管底座上设有若干电连接插孔组；

安装于所述灯管底座上的若干灯筒，所述灯筒包括灯筒本体，及设于所述灯筒本体内壁上的定向导轨；及

安装于所述灯筒内的灯管，所述灯管包括灯管本体，位于所述灯管本体一端、且与所述电连接插孔组进行电连接的电连接插头组，位于所述灯管本体两侧、且在所述定向导轨上进行定向滑动的定向销，及位于所述灯管本体另一端的发光件。

优选地，所述灯筒本体为中空圆柱形结构。

优选地，所述灯筒还包括设于所述灯筒本体一端的挡板，其中，所述挡板上设有与所述电连接插孔组位置对应的过孔组。

优选地，所述电连接插头组贯穿所述过孔组与所述电连接插孔组进行电连接。

优选地，所述定向导轨为凹槽结构。

优选地，所述凹槽结构的宽度为2mm～3mm；所述凹槽结构的深度为2mm～3mm。

优选地，所述定向销为梯形结构。

优选地，所述梯形结构的高度为2mm～3mm。

优选地，所述定向导轨和所述定向销的材料均为耐高温材料，其中，所述耐高温材料包括陶瓷或镍基合金。

优选地，所述快速热退火机台还包括设于所述发光件表面的聚光罩。

优选地，所述快速热退火机台还包括设于所述灯管底座上、且将所述灯筒及灯管罩于其内的防脱落罩体。

优选地，所述快速热退火机台还包括设于所述机台本体内的冷却装置。

如上所述，本实用新型的一种快速热退火机台，具有以下有益效果：通过本实用新型所述的快速热退火机台，可实现灯管的准确、快速安装，不仅降低了安装时间，提高了安装效率，而且还避免了灯管受到损坏。

附图说明

图1显示为现有快速热退火机台安装灯管时的结构示意图。

图2显示为本实用新型快速热退火机台的结构示意图。

图3显示为图2中区域A的局部放大图。

元件标号说明

10 快速热退火机台

11 机台本体

12 退火腔室

13 灯管底座

131 电连接插孔组

14 灯筒

141 灯筒本体

142 定向导轨

143 挡板

144 过孔组

15 灯管

151 灯管本体

152 电连接插头组

153 定向销

154 发光件

16 聚光罩

17 防脱落罩体

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图2和图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

实施例一

如图1和图2所示，本实施例提供一种快速热退火机台，所述快速热退火机台10包括：

机台本体11；

设于所述机台本体11内的退火腔室12；

安装于所述退火腔室12内的灯管底座13，所述灯管底座13上设有若干电连接插孔组131；

安装于所述灯管底座13上的若干灯筒14，所述灯筒14包括灯筒本体141，及设于所述灯筒本体141内壁上的定向导轨142；及

安装于所述灯筒14内的灯管15，所述灯管15包括灯管本体151，位于所述灯管本体151一端、且与所述电连接插孔组131进行电连接的电连接插头组152，位于所述灯管本体151两侧、且在所述定向导轨142上进行定向滑动的定向销153，及位于所述灯管本体151另一端的发光件154。

作为示例，所述灯筒本体141为中空圆柱形结构，其中，所述定向导轨142设于所述中空圆柱形结构在水平方向的内壁上，通过定向销152与定向导轨142的配合使用，以实现所述电连接插头组152与所述电连接插孔组131的对准安装。

作为示例，所述定向导轨142为凹槽结构。

需要说明的是，所述凹槽结构通过与所述灯筒一体成型，即直接对所灯筒本体141的内壁进行刻蚀，以形成凹槽结构。

作为示例，所述凹槽结构的宽度为2mm～3mm。优选地，在本实施例中，所述凹槽结构的宽度为3mm；当然，在其它实施例中，所述凹槽结构的宽度还可以为2mm、2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm或2.9mm等。

作为示例，所述凹槽结构的深度为2mm～3mm。优选地，在本实施例中，所述凹槽结构的深度为2mm；当然，在其它实施例中，所述凹槽结构的深度还可以为2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm或3mm等。

作为示例，所述灯筒14还包括设于所述灯筒本体141一端的挡板143，其中，所述挡板143上设有与所述电连接插孔组131位置对应的过孔组144；其中，所述电连接插头组152贯穿所述过孔组144与所述电连接插孔组131进行电连接。

需要说明的是，所述快速热退火机台10还包括供电装置，所述供电装置与所述电连接插孔组131电连接，以实现通过所述电连接插头组152为所述灯管15供电。

作为示例，所述定向销153为梯形结构，以减小在安装灯管过程中定向销153与定向导轨142之间的摩擦，及定向销153所受的空气阻力。

作为示例，所述梯形结构的高度为2mm～3mm。优选地，在本实施例中，所述梯形结构的高度为2mm；当然，在其它实施例中，所述梯形结构的高度还可以为2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm或3mm等。

需要说明的是，所述定向销153通过耐高温焊接方式固定于所述灯管本体151上，与所述定向导轨142配合使用，使所述电连接插头组152与所述过孔组144及所述电连接插孔组131对准，以实现快速无损伤安装。

作为示例，所述定向导轨142和所述定向销153的材料均为耐高温材料，其中，所述耐高温材料包括但不限于陶瓷或镍基合金。

作为示例，所述快速热退火机台10还包括设于所述发光件154表面的聚光罩16，以实现所述发光件154的聚光。

作为示例，所述快速热退火机台10还包括设于所述灯管底座13上、且将所述灯筒14及灯管15罩于其内的防脱落罩体17，以防止所述灯筒14及灯管15掉落。

作为示例，所述快速热退火机台10还包括设于所述机台本体11内的冷却装置，以对所述快速热退火机台10的表面壳体进行冷却，避免所述快速热退火机台因表面壳体温度过高而对人体造成伤害。

综上所述，本实用新型的一种快速热退火机台，具有以下有益效果：通过本实用新型所述的快速热退火机台，可实现灯管的准确、快速安装，不仅降低了安装时间，提高了安装效率，而且还避免了灯管受到损坏。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。