硅片表面清洗装置的制作方法

文档序号:14214696阅读:92来源:国知局

本实用新型涉及对液体或被净化物体进行附加处理的装置领域,具体涉及一种硅片表面清洗装置。



背景技术:

硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低。单晶硅绒面的制备是生产太阳能电池片的必要工序,利用硅的各向异性腐蚀,在每平方厘米硅表面形成几百万个四面方锥体也即金字塔结构。由于入射光在表面的多次反射和折射,增加了光的吸收,提高了电池的短路电流和转换效率。在制备绒面前,硅片须先进行初步表面腐蚀,在腐蚀绒面后,进行一般的化学清洗。

现有的清洗装置一般需要将硅片放入清洗框内,硅片与清洗框接触的部位难以清洗干净,使得洗完的硅片表面上留有污斑,造成硅片局部清洗不干净的现象,从而影响硅片的质量。也有部分清洗装置设置了多个尖端在支撑硅片,以减少与硅片的接触面积,但是这就容易使得硅片表面被划伤。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片表面清洗装置,该装置在对硅片进行清洗时,可以减少硅片的划伤而且清洗效果好。

为达到上述目的,本实用新型的基础方案如下:硅片表面清洗装置,包括盛有清洗液的清洗槽,还包括清洗框、连杆、第一伞齿轮、第二伞齿轮和曲轴,所述清洗框位于清洗槽内,所述清洗框由底网和四个隔网构成,所述底网的横截面为正弦波形,所述清洗槽侧部设有电机,所述电机的输出轴与曲轴连接,所述曲轴的曲轴颈与连杆的一端转动连接,连杆另一端与清洗框上部转动连接,所述曲轴的连杆轴颈与第一伞齿轮固定连接,所述第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合,所述第二伞齿轮连接有搅拌轴,所述搅拌轴连接有搅拌叶片,所述搅拌叶片位于清洗液内。

采用本基础方案时,将待清洗的硅片放置在清洗框内,并确保清洗框浸没在清洗液内。底网的横截面为正弦波线,则底网的与硅片的接触面积变小,使得硅片与清洗液的接触面积变大,而且底网的横截面为正弦波形,则硅片与底网接触时不会对硅片造成划伤。启动电机,电机驱动曲轴转动。因为连杆一端与曲轴的曲轴颈转动连接,连杆的另一端与清洗框连接。则在电机驱动曲轴转动时,清洗框在曲轴和连杆的作用下会带动硅片上下移动,与清洗槽内的清洗也产生相对运动,利于硅片的清洗。因为第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合,曲轴在转动时,会通过第一伞齿轮与第二伞齿轮带动搅拌轴转动,搅拌轴转动会带动搅拌叶片转动对清洗也进行搅拌,使清洗液转动。清洗液的转动配合硅片的上下移动,使清洗液对硅片有较强的冲击,清洗效果更好。

优选方案一:作为基础方案的优选方案,所述清洗槽内设有温度传感器,在对硅片进行清洗时,需要保证清洗液的温度,而温度传感器方便对清洗液的温度进行检测。

优选方案二:作为优选方案一的优选方案,所述清洗槽底部设有加热结构,方便对清洗液进行加热。

优选方案三:作为基础方案的优选方案,所述清洗槽内设有Ph检测器,清洗槽内应是碱性环境,需要控制清洗槽内的Ph值,而Ph检测器可以实时检测清洗槽内的Ph值。

优选方案四:作为基础方案的优选方案,所述隔网的截面为正弦波形,避免隔网对硅片造成划伤。

附图说明

图1是本实用新型硅片表面清洗装置实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明:

说明书附图中的附图标记包括:清洗槽1、清洗框2、底网3、隔网4、连杆5、曲轴颈6、连杆轴颈7、第一伞齿轮8、第二伞齿轮9、搅拌轴10、搅拌叶片11、电机12、温度传感器13。

实施例基本如附图1所示:硅片表面清洗装置,包括盛有清洗液的清洗槽1,还包括清洗框2、连杆5、第一伞齿轮8、第二伞齿轮9和曲轴,清洗框2位于清洗槽内,清洗框2由底网3和四个隔网4构成,底网3的横截面为正弦波形,隔网4的截面为正弦波形。清洗槽侧部设有电机12,电机12的输出轴与曲轴连接,曲轴的曲轴颈6与连杆5的一端转动连接,连杆5另一端与清洗框2上部转动连接,曲轴的连杆轴颈7与第一伞齿轮8固定连接,第一伞齿轮8与第二伞齿轮9啮合,第二伞齿轮9连接有搅拌轴10,搅拌轴10连接有搅拌叶片11,搅拌叶片11位于清洗液内。

将待清洗的硅片放置在清洗框2内,并确保清洗框2浸没在清洗液内。底网3的横截面为正弦波线,则底网3的与硅片的接触面积变小,使得硅片与清洗液的接触面积变大,而且底网3的横截面为正弦波形,则硅片与底网3接触时不会对硅片造成划伤。启动电机12,电机12驱动曲轴转动。因为连杆5一端与曲轴的曲轴颈6转动连接,连杆5的另一端与清洗框2连接。则在电机12驱动曲轴转动时,清洗框2在曲轴和连杆5的作用下会带动硅片上下移动,与清洗槽内的清洗也产生相对运动,利于硅片的清洗。因为第一伞齿轮8与第二伞齿轮9啮合,曲轴在转动时,会通过第一伞齿轮8与第二伞齿轮9带动搅拌轴10转动,搅拌轴10转动会带动搅拌叶片11转动对清洗也进行搅拌,使清洗液转动。清洗液的转动配合硅片的上下移动,使清洗液对硅片有较强的冲击,清洗效果更好。

清洗槽内设有温度传感器13,本实施例中的温度传感器13为TR/02010温度传感器13。在对硅片进行清洗时,需要保证清洗液的温度,而温度传感器13方便对清洗液的温度进行检测。清洗槽底部设有加热结构,方便对清洗液进行加热。清洗槽内设有Ph检测器,清洗槽内应是碱性环境,需要控制清洗槽内的Ph值,而Ph检测器可以实时检测清洗槽内的Ph值。

以上所述的仅是本实用新型的实施例,方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本实用新型结构的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本实用新型的保护范围,这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准,说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

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