一种晶圆料盒固定块装置的制作方法

文档序号:14440600阅读:570来源:国知局
一种晶圆料盒固定块装置的制作方法

本实用新型涉及半导体封装领域,具体涉及一种晶圆料盒固定块装置。



背景技术:

晶圆全自动切割机是半导体封装制成中的一个重要环节设备,随着半导体封装制造业的不断发展,切割机的使用率随之增长,从而机台上晶圆料盒上下料频率也大大提升。晶圆料盒分为8英寸和12英寸两种类型,根据不同的晶圆尺寸来选择不同尺寸的料盒在切割机上使用。

如图1所示,为现有的全自动切割机上下料升降平台的结构图1,以及升降台上料盒的检测压条2,共有4个。主要缺点为:(1)原先切割机上下料盒的升降平台上没有位置固定,会造成不同尺寸料盒前后左右位置偏移。(2)料盒放置位置若偏移会造成全自动切割机频繁报警,也容易造成晶圆在被机台抓取去切割过程中因位置偏移问题而导致的破片问题,不但降低了生产效率,也增加了破片率,降低了良率。



技术实现要素:

为了解决上述不足的缺陷,本实用新型提供了一种晶圆料盒固定块装置,结构简单,具有较好的稳定性,可以减少晶圆料盒在升降平台上的位置偏移,避免了因上下料盒位置偏移问题产生的机台报警和破片问题,提高了机台生产的稳定性和产能,也提高了产品生产良率。

本实用新型提供了一种晶圆料盒固定块装置,包括第一固定块和第二固定块,所述第一固定块和第二固定块分别固定在升降台上,在所述升降台上分别固定有两个第一固定块和一个第二固定块,所述第二固定块的两侧分别固定有一所述第一固定块,所述第一固定块的一端设有两个平行的第一槽状结构,所述第二固定块的两端分别设有一第二槽状结构,所述第一固定块通过所述第一槽状结构与升降台可拆卸连接,所述第二固定块通过所述第二槽状结构与升降台可拆卸连接。

上述的晶圆料盒固定块装置,其中,所述第一槽状结构包括第一矩形槽和分别位于第一矩形槽两端的第一弧形槽;所述第二槽状结构包括第二矩形槽和分别位于第二矩形槽两端的第二弧形槽。

上述的晶圆料盒固定块装置,其中,所述第一槽状结构、第二槽状结构通过螺钉与升降台可拆卸连接,所述螺钉上端的截面积大于第一槽状结构、第二槽状结构的截面积。

上述的晶圆料盒固定块装置,其中,所述第一固定块可以通过第一槽状结构在升降台的两侧方向进行移动,所述第二固定块可以通过第二槽状结构在升降台的上下方向进行移动。

上述的晶圆料盒固定块装置,其中,所述第一矩形槽长度为5cm,宽度为8.5cm,所述第二矩形槽的长度为5cm,宽度为16cm。

上述的晶圆料盒固定块装置,其中,所述第一矩形槽的长度为第一弧形槽的直径;所述第二矩形槽的长度为第二弧形槽的直径。

本实用新型具有以下优点:1、本实用新型提供一种简单、低成本的便于对晶圆料盒进行固定的装置,该结构简单,具有较好的稳定性,可以减少晶圆料盒在升降平台上的位置偏移,避免了因上下料盒位置偏移问题产生的机台报警和破片问题,提高了机台生产的稳定性和产能,也提高了产品生产良率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图,重点在于示出本实用新型的主旨。

图1为现有的全自动切割机上下料升降平台的结构示意图。

图2为本实用新型一种晶圆料盒固定块装置放置在图1中的结构示意图。

图3、图4分别为本实用新型中第一固定块不同状态的结构示意图。

图5、图6分别为本实用新型中第二固定块不同状态的结构示意图。

具体实施方式

在下文的描述中,给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而,对于本领域技术人员而言显而易见的是,本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中,为了避免与本实用新型发生混淆,对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

为了彻底理解本实用新型,将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构,以便阐释本实用新型的技术方案。本实用新型的较佳实施例详细描述如下,然而除了这些详细描述外,本实用新型还可以具有其他实施方式。

参照图1-图6所示,本实用新型提供了一种晶圆料盒固定块装置,包括第一固定块3和第二固定块4,第一固定块3和第二固定块4分别固定在升降台1上,进一步,在升降台1上分别固定有两个第一固定块3和一个第二固定块4,其中,第二固定块4的两侧分别固定有一第一固定块3,第一固定块3的一端设有两个平行的第一槽状结构5,第二固定块4的两端分别设有一第二槽状结构6,第一固定块3通过第一槽状结构5与升降台1可拆卸连接,第二固定块4通过第二槽状结构6与升降台1可拆卸连。

本实用新型一优选而非限制性的实施例中,第一槽状结构5包括第一矩形槽51和分别位于第一矩形槽51两端的第一弧形槽52;第二槽状结构6包括第二矩形槽61和分别位于第二矩形槽61两端的第二弧形槽62。

本实用新型一优选而非限制性的实施例中,第一槽状结构5、第二槽状结构6通过螺钉与升降台1可拆卸连接,其中螺钉上端的截面积大于第一槽状结构、第二槽状结构的截面积,从而可以满足在螺钉拧紧的时候,可以对第一固定块3和第二固定块4进行固定。也就是说,先根据晶圆料盒的尺寸,将第一固定块3和第二固定块4位置调整好,然后通过螺钉进行固定,当需要更换其他规格的晶圆料盒时,首先将螺钉拧松,此时第一槽状结构5、第二槽状结构6可以在螺钉的上下或者左右进行移动,直到可以卡合住更换后的晶圆料盒,然后将螺钉拧紧,从而可以固定住更换后的晶圆料盒。

本实用新型一优选而非限制性的实施例中,第一固定块3可以通过第一槽状结构在升降台的两侧方向进行移动,第二固定块可以通过第二槽状结构在升降台的上下方向进行移动,从而对晶圆料盒固定。

本实用新型一优选而非限制性的实施例中,第一矩形槽51长度为5cm,宽度为8.5cm,第二矩形槽61的长度为5cm,宽度为16cm。在该尺寸下,可以满足晶圆料盒为8英寸和12英寸两种类型的固定。

本实用新型一优选而非限制性的实施例中,第一矩形槽的长度为第一弧形槽的直径;所述第二矩形槽的长度为第二弧形槽的直径。

本实用新型的工作过程为:参照图1-图6所示,升降台1上首先开设用于螺钉进行固定的螺纹孔,在附图中并未标记,但是不难想象该结构,然后将晶圆料盒放置在升降台,进而,将第一固定块和第二固定块安装在上述中的螺纹孔附近,然后移动第一固定块和第二固定块,直到将晶圆料盒卡合住,其中卡合位置可以为晶圆料盒的四周或者晶圆料盒中的固定杆,可以根据不同的晶圆料盒选择不同的卡合位置,卡合住之后通过螺钉固定住第一固定块和第二固定块;如果需要更换晶圆料盒,此时,只需要拧松螺钉,然后移动第一固定块和第二固定块,直到能卡合住更换后的晶圆料盒时,再次拧紧螺钉。

以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是,本实用新型并不局限于上述特定实施方式,其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施;任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例,这并不影响本实用新型的实质内容。因此,凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰,均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

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