一种高电流离子注入机末端测流器的制作方法

技术特征：

1.一种高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：包括测流器本体(1)，所述测流器本体(1)包括接地部(11)、离子注入机末端的连接腔(12)和连接腔(12)侧面的隔离部(13)；所述隔离部(13)还包括顶面部(14)、正面部(15)和侧面部(16)。

2.根据权利要求1所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述隔离部(13)还包括导电部件(17)和绝缘部件(18)。

3.根据权利要求2所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述绝缘部件(18)安装于所述导电部件(17)的内层。

4.根据权利要求3所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述绝缘部件(18)包括绝缘部件一(181)、绝缘部件二(182)、绝缘部件三(183)。

5.根据权利要求4所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述绝缘部件一(181)安装于所述顶面部(14)，所述绝缘部件二(182)安装于所述正面部(15)；所述绝缘部件三(183)安装于所述侧面部(16)。

6.根据权利要求5所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述导电部件包括导电部件一(171)、导电部件二(172)、导电部件三(173)、导电部件四(174)和导电部件五(175)。

7.根据权利要求6所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述正面部(15)包括连接的斜板部(151)和竖直部(152)。

8.根据权利要求7所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述导电部件一(171)设置于所述绝缘部件一(181)表面并覆盖整个绝缘部件一(181)；导电部件二(172)设置于所述斜板部(151)表面；所述导电部件三(173)设置于所述竖直部(152)表面；所述侧面部(16)包括横向凸起部一(161)和横向凸起部二(162)；所述导电部件四(174)设置于所述横向凸起部一(161)表面，所述导电部件五(175)设置于所述横向凸起部二(162)表面。

9.根据权利要求8所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述绝缘部件(18)为绝缘子。

10.根据权利要求9所述的高电流离子注入机末端测流器，其特征在于：所述导电部件(17)为石墨。