技术总结
本实用新型涉及一种真空等离子设备腔体，包括腔体，所述腔体内设有隔板，所述隔板包括竖直隔板和水平隔板，所述竖直隔板和水平隔板两端分别通过定位槽固定在腔体的内壁，所述竖直隔板和水平隔板将腔体分隔成若干个隔间，所述隔间两侧分布电极。本实用新型的真空等离子设备腔体通过设置可移动的隔板，可以将腔体内部任意分割，以适应客户对方形材料或盒装零件表面处理的需求，并能达到相应的表面清洁效果，适用性好、可灵活调节隔间大小，有着结构简单、能适应各种尺寸零件处理的优点。
技术研发人员：张斌
受保护的技术使用者：昆山国华电子科技有限公司
技术研发日：2017.12.14
技术公布日：2018.07.17