1.一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，包括托盘本体，其特征在于，所述托盘本体的上表面设有用于固定蓝宝石衬底置的定位凹槽，铝托盘本体的上表面和定位凹槽的表面涂覆有导热介质层。
2.根据权利要求1所述的图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，其特征在于，所述定位凹槽的深度为100微米—300微米之间，定位凹槽的宽度为105毫米—110毫米。
3.根据权利要求2所述的图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，其特征在于，所述导热介质层的厚度为10微米—100微米。
4.根据权利要求3所述的图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，其特征在于，所述导热介质层的材质为热固化有机聚合物，它的导热系数在0.15W/m.K—10W/m.K之间，热固化温度在30℃—100℃之间。
5.根据权利要求4所述的图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，其特征在于，所述导热介质材料包括环氧树脂类、酚醛树脂类、硅胶或PMMA有机聚合物。
6.根据权利要求5所述的图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，其特征在于，所述托盘本体的边沿设有下沉区，该下沉区与托盘本体上表面的高度差为2毫米-5毫米。