技术总结
本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面设有用于固定蓝宝石衬底置的定位凹槽，铝托盘本体的上表面和定位凹槽的表面涂覆有导热介质层，定位凹槽的深度为100微米—300微米之间，定位凹槽的宽度为105毫米—110毫米，托盘本体的边沿设有下沉区，该下沉区与托盘本体上表面的高度差为2毫米‑5毫米。本实用新型提高了操作的便利性，有效地保证了PSS工艺制程稳定性和产品良率。
技术研发人员：付星星;康凯;陆前军
受保护的技术使用者：东莞市中图半导体科技有限公司
技术研发日：2017.12.22
技术公布日：2018.07.20