一种带有雪崩增益的电荷耦合器件的制作方法

文档序号:14942033发布日期:2018-07-13 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种带有雪崩增益的电荷耦合器件,包括组成阵列的若干像素,像素自下而上依次包括栅极、半导体衬底、绝缘层、源极、漏极与石墨烯薄膜;源极和漏极水平间隔布置于绝缘层的上表面;石墨烯覆盖在源极、漏极及其之间的绝缘层上表面;阵列中所有像素共用一个栅极,栅极和每个像素的源极之间分别设置一个栅压,每个像素的源极和漏极之间设置一个偏置电压。入射光照射到本发明的器件表面,被半导体衬底吸收。由于石墨烯的特殊性质,其通过电容耦合可以有效收集载流子,产生的光电流直接从单个像素结构输出,实现本地随机读取,无需采用像素间横向转移电荷方式,从根本上改变电荷耦合器件的信号读出方式,提高系统的响应速度和可靠性。

技术研发人员:徐杨;郭宏伟;李炜
受保护的技术使用者:杭州紫元科技有限公司
技术研发日:2018.01.29
技术公布日:2018.07.13
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